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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

具体的器件有金属应变片、压力传感器等，在动力设备、工程机械、各类工作母机和工业自动化系统中，成为不可缺少的核心部件。力传感器被广泛地用在部件和系统级测试、发动机和动力总成测试、车辆和试验厂测试、总装和 终测试以及各种赛车应用中。它们在确定新车和部件设计的完整性和化方面都能发挥重要作用，同时还有助于保证效率、安全性和正确的功能。力传感器具有“疲劳寿命”额定值。通用型力传感器设计用于静态载荷应用或者低循环频率载荷应用。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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从事电力行业人员经常会提及到IEC61850通讯协议，电力客户也经常提问到。然而，我们对它究竟理解多少？听过IEC61850的人很多，可是61850究竟是什么？通信规约？没错，IEC61850标准是电力系统自动化领域的 通用标准。它通过标准的实现，实现了智能变电站的工程运作标准化。使得智能变电站的工程实施变得规范、统一和透明。然后呢？它究竟规定了什么？IEC61850是什么样子的IEC61850系列是由10个部分组成的，分别是：IEC61 用语的阐述；IEC618 于系统和工程方面所提出的要求和规范；IEC61850—5功能和装置模型的相关概述；IEC61850—6结构语言；IEC61850—7阐述变电站和馈线设备的使用理论知识以及运作模式，并对相关结构进行描述定义；IEC61850—8变电站和间隔层内以及变电站层和间隔层之间的特殊通信服务映射SCSM；IEC61850—9间隔层和过程层内以及间隔层和过程层之间特殊通信 。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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目前工业领域Wi-Fi模块产品的性能良莠不齐，差异巨大，如何挑选一款稳定可靠的Wi-Fi模块却成了许多工程师的难题。稳定可靠是应用于工业领域的前提目前工业领域Wi-Fi模块产品的性能良莠不齐，差异巨大，如何挑选一款稳定可靠的Wi-Fi模块成为许多工程师的难题。那么，目前 的Wi-Fi方案厂商——博通（Broadcom）成为了我们必然之选，这为模块的可靠性奠定了坚实的基础，加上足足一年的研发稳定性修正测试，也将是您的必然之选。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室成都-认证机构此方法运行成本低、灵活便捷，通常用于装备的前期发过程中，偏重于对软件算法的测试。然而由于逼真度低，与实际环境差异过大，对于正式装备的性能测试仅具有参考作用，大多数场合无法作为 终验证手段。第三种测试方法是半实物模拟测试，此方法是在前两种方法有机结合的基础上发展而来的。它利用数据采集或数学建模的方法组建数字化复杂电磁环境信息数据库，根据实际测试场景需求，计算波形数据，基于复杂信号发生技术，通过波形发生的方式产生实际电磁信号，人为构建高逼真度的复杂电磁环境，用于装备性能测试。