测试仪器校验广州-外校单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

举个例子，将一个离散的热源放置在一个大的金属散热器上，会产生较大的热梯度，因为热量缓慢地通过铝传导到翅片。研发人员计划在散热器内植入热管，达到既减少散热器板厚度和散热片面积，降低对强制对流的依赖从而实现噪音降低，又保证产品长期稳定工作的目的，红外热像仪可以很好的帮助工程师们评估该方案效能。上图解说：热源功率150W；左图：传统铝散热片，长度30.5cm，基底厚度1.5cm，重4.4kg，可以发现热量以热源为中心梯度扩散；右图：植入5根热管后的散热片，长度25.4cm，基底厚度0.7cm，重2.9kg，较传统散热片减材34%，可以发现热管可以等温的将热量带走，散热器温度分布均匀，同时发现导热只需3根热管，有进一步降低成本的可能。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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ADC模块是一个12位、具有线结构的模数转换器，用于控制回路中的数据采集。本 度的方法，使得ADC精度得到有效提高。1ADC模块误差的定义及影响分析1.1误差定义常用的A/D转换器主要存在：失调误差、增益误差和线性误差。这里主要讨论失调误差和增益误差。理想情况下，ADC模块转换方程为y=x×mi，式中x=输入计数值=输入电压×4095/3;y=输出计数值。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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智能工厂模型但我们知道，目前zigbee很多采用类似zigbeePro、HomeAutomation、SmartEnengy，但在组网过程中均容易出现节点掉线现象，且通信效率较低、支持的节点数量少等，针对这些情况，致远电子专门针对对这些参数有较高要求的应用，发出了一套工业应用快速组网通讯协议——Fastzigbee，该协议的主要特点是支持更多节点数量，攻克zigbee节点掉线现象，使用方便、灵活，而且效率高，适合各种类型的组网功能。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器校验广州-外校单位注意：表1中规定的R?JA仅供比较参考，鉴于板空间和铜排有限，在实际传感器应用中，该值会更高。联合电子设备工程委员会(JEDEC)或评估模块(EVM)计算了数据表中的典 ?JA是基于一块3mm*3mm的双层电路板计算出来的。表1：LMZM2361与按照封装类型分类的线性稳压器设计选项如表2 mA约等于.93W功率，而LMZM2361功耗仅为.116W。