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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

汽车电子测试——汽车安全气囊的振动（复合温度）测试振动（复合温度）试验是去模拟运输过程中或者汽车行驶在不同道路状况下对于安全气囊的振动疲劳破坏，更客观评价安全气囊在温湿度和振动复合环境下的适应能力。对此国标中要求，模拟工作状态加载脉冲电流1mA/1ms--A/19ms，一个周期为2ms。因为电流较小，且 短位置脉冲时间为1ms，因此普通的直流电源无法实现如此快速 的测试。测试产品：安全气囊测试仪器：IT64，上升时间 可达15us，高达1nA的解析度测试方法：IT64在正负极短路状态下，可按照标准参数编辑：1mA/1ms--A/19ms，轻松模拟振动测试，并可循环试验，测试波形如下。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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工业4.0时代，智能化已成为衡量城市发展水平的重要因素，建设智慧城市是未来城市发展的一个共同目标。随着世界经济与科学技术的高速发展，城市对清洁、、经济、安全的电力能源的需求日趋加剧。在智慧城市的诸多建设工程中，智能电网也成为关键项目之一。随着我国坚强智能电网建设的快速推进，智能电网在确保城市用电安全可靠、促进城市绿色发展、提升城市网络通信能力、拉动城市相关产业发展以及丰富城市服务内涵等方面对城市智能化发挥了巨大的推动作用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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国网标准物理层测试要求充电桩的充电控制器与BMS通讯是 14电动汽车非车载充电机检验技术规范》规定了物理层及链路层测试内容：l物理层测试项目：传输速率测试、信号幅值测试、总线延时测试、总线利用率测试、总线错误率测试、终端电阻变化测试、报文压力测试、抗干扰测试l链路层测试项目：帧格式测试、协议数据单元测试、协议数据单元PDU格式测试、参数组编号PGN测试、传输协议功能测试、地址分配测试。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正德阳-认证单位操作气泡水平仪、铅锤和粉笔等传统工具通常需要至少两个人。借助福禄克激光水平仪，一个人就能在地面上量出一个网格图，并将点传送到天花板，从而确保器具。这可程度减少攀爬梯子或升降梯的次数，并节约时间和降低风险。过去花几个小时，现在只需几分钟，这使您的工作更更。有时需要帮助才能找到问题的根源即使您眼力出色，要在充满灰尘或阴暗的环境里看清一条粉笔线也并不容易。如果环境又潮又湿，粉笔线很可能会消失。