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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

变频器概述变频器主要分为两类：电压型，将电压源的直流变换为交流，其直流回路通过电容滤波。输出电压波形为矩形波电流波形近似正弦波。一般要深度负反馈，有稳定作用；电流型，将电流源的直流变换为交流，其直流回路通过电感滤波。电流波形为矩形波电压波形近似正弦波。一般为正反馈，有增益作用。现在的变频器主要采用VVVF变频或矢量控制变频，也就是先把工频交流电通过整流器转换成直流电源，再把直流电源转换成频率、电压均可控制的交流电供给电机。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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红外热成像仪通过热成像镜头将物体的红外辐射投射红外探测器上，红外探测器再将强弱不等的辐射信号转换成相应的号，经过放大和，形成可供人眼观察的图像。(光谱图)在完全漆黑的环境及各种天气条件下进行观测的新型工具，通过使用红外热像仪"看清"物体散发出的热能。红外热像仪可生成可见红外线或"热"辐射图像。根据物体间的温差生成清晰的图像，即使的细节也能纤毫毕现，实现昼夜工作。红外热成像仪的优势：1.全天候工作，无需光源，不怕强光。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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从规范完善的发周期到严格执行和系统检查，发高可靠性嵌入式系统的技术有许多种。本文介绍了7个易操作且可以长久使用的技巧，它们对于确保系统更加可靠地运行并捕获异常行为大有帮助。技巧1——用已知值填充ROM软件发人员往往都是非常乐观的一群人，只要让他们的代码忠实地长时间地运行就可以了，仅此而已。微控制器跳出应用程序空间并在非预想的代码空间中执行这种情况似乎是相当少有的。然而，这种情况发生的机会并不比缓存溢出或错误指针失去引用少。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校龙岩-认证中心而有些泄漏又非常隐蔽，除了微小的不容易听到声响之外，“隐蔽”的泄漏往往发生在工作场所背景噪声较大的环境中。以上所有的泄漏，组成了整个系统中的泄漏源。事实上，早在1995年，美国能源部就发起了压缩空气挑战活动，以帮助工业领域的压缩空气使用量在21年前减少1%。他们指出，压缩空气是工厂内成本的公用资源之一，在美国所生产的所有压缩空气中，存在3%的泄漏损失。他们估计每年的成本约为32亿美元。常见的压缩空气泄露通常发生在以下这些部位：管道接头、快插接头压力调节器（FRL）经常打的冷凝水排放阀破损的软管，破裂的管道工厂里的泄漏无所不在，如果一个工厂希望消除泄漏几乎不可能，我们能够到的就是将压缩空气的泄漏控制在一个合理的范围内。