测试仪表校验梧州-CNAS检测机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在实际中，A/D转换模块的各种误差是不可避免的，这里定义具有增益误差和失调误差的ADC模块的转换方程为y=x×ma±b，式中ma为实际增益，b为失调误差。通过对F2812的ADC信号采集进行多次测量后，发现ADC增益误差一般在5%以内，即0.95。理想ADC转换与实际ADC转换1.2影响分析在计算机测控系统中，对象数据的采集一般包含两种基本物理量：模拟量和数字量。对于数字量计算机可以直接读取，而对于模拟量只有通过转换成数字量才能被计算机所接受，因此要实现对模拟量准确的采集及，模数转换的精度和准确率必须满足一定的要求。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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抖动引起的满量程信噪比由以下公式得出举个例子，频率为1Ghz，抖动为100FS均方根值时，信噪比为64dB。在时域中查看时，x轴方向的编码边沿变化会导致y轴误差，幅度取决于边沿的上升时间。孔径抖动会在ADC输出产生误差，如所示。抖动可能产生于内部的AD外部的采样时钟或接口电路。.孔径抖动和采样时钟抖动的影响显示抖动对信噪比的影响。图中显示了5条线，分别代表不同的抖动值。x轴是满量程模拟输入频率，y轴是由抖动引起的信噪比，有别于ADC总信噪比。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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多数人在使用示波器时都比较关注示波器本身，却忽略了探头的选择。实际上探头是介于被测信号和示波器之间的桥梁，如果信号在探头处就已经失真，那么再好的示波器也会大打折扣。正所谓“好马配好鞍，洞察靠真探”，——示波器再好也得探头经得住考验，信号不能失真。MSO6志在超低噪声，MSO6采用了全新设计的前端放大器Tek061，在较小的伏特/格设置上实现了非常好的噪声性能。配合示波器对超低噪声的理想追求，泰克科技全新 电源探头，再一次展示了泰克在电源完整性测试中的优异的低噪声表现能力。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校验梧州-CNAS检测机构LP8758就是业内进多相位转换器的示例，它是手机器电源的理想选择。它具有低IQ，小总体解决方案尺寸，16A峰值电流能力，低纹波和快速瞬态。在多个电感器，而不是在一个电感器内储存电能，降低了电感器尺寸。这使得设计人员能够使用具有小芯片电感器的LP8758，使得解决方案尺寸减小到60mm2以下。如所示，每个输出稍微运行在相位之外。由于红色和蓝色的相位电流在相位之外，它们能够组合在一起，而又不会在输出上导致较大的纹波。