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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

汽车电子技术起源于上世纪90年代，而随着汽车电子化的方便、舒适性等特点逐渐显现，该技术被迅速普及于汽车的各个部分。从广义上看，汽车电子包括基础元器件、电子零部件、车载电子整机、机电一体化的电子控制系统(ECU)、整车分布式电子控制系统及与汽车电子有关的车外电子系统等软硬件部分。从发动机到车窗，从安全气囊的控制装置到刹车系统，都有电子设备的身影。汽车电子化被认为是汽车技术发展史上的一次。电子化程度则被认为是衡量汽车技术发展程度的重要标志之一。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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现场动平衡测量仪具有检测与转子同频、半频和倍频振动分量的频率分析能力。现场动平衡测量仪操作简单，仪器自动提示，一般人员都可使用现场动平衡分析仪是嵌入式计算机技术和动平衡技术，兼备现场振动数据测量、振动分析和单双面动平衡等诸多功能，简捷易用。是工矿企业预知保养维修，尤其是风机、电动机等设备厂和振动技术服务机构 为理想之工具。现场动平衡测量仪具有动平衡测试，给出转速、总振幅、选取频振幅和相位角（相对光电参数标志），这是一般动平衡仪功能。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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性能特点：小管路取样可对小容量注射剂直接检测，并可累计测试、打印出每容器微粒含量；采用激光光源传感器，可直接检测包括中针剂在内的无色、有色澄明检品；无需对检品进行电解质调整；设有5ml和1-2ml自定义体积取样检测功能，也可满足大输液、输液器具及其他领域液体中微粒检测的要求；微电脑控制，智能化程度高，操作简便，测试数据及测试时间自动打印输出；设有检品防尘窗口，搅拌速度随机可调且不与容器磨擦，防止微粒污染；设有进样狭缝反冲功能，可用不同的清洁液对狭缝进行冲洗；用于注射液大容量、小容量、粉针剂，直接检测无需另外计算、可直接打印报告。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验广东-外校单位上升时间的定义上升时间是信号上升快慢的数值，那其准确的内涵该是如何定义了？说来话长，因为定义是比较严谨的，一环套一环。按常规理论：信号的上升时间是正向沿的较低阈值交叉点与较高阈值交叉点之间的时差。顾名思义，上升时间肯定是在信号的上升沿时测量的；较低阈值、较高阈值的设定值在某些示波器中是可以自定义的，默认为10%、90%幅值处。而幅值的定义，就是顶部值（Top）与底部值（Bottom）之差。顶部值，即波形较高部分的众数。