测试设备校准淮安-验厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

Ceyear451信号/频谱分析仪了实时频谱分析功能，在干扰环境下进行频谱测试或在正常工作状态下查找干扰是实时频谱分析功能的主要优势，同时还具有高截获概率以及快速准确的频谱分析测量能力。实时频谱分析功能广泛应用于瞬态、短时、偶发信号的测量与分析，测量显示界面如所示。实时频谱分析功能界面显示基于频谱统计的数字荧光频谱图是一个二维的直方图，它采用位图图像方式进行显示，每一个位图像素代表的是信号频率和幅度联合的统计信息，颜色的深浅（暖色调和冷色调）代表统计次数的高低，数字荧光视图如所示。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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特别是气体容量法测碳、碘量法定硫，既快速又准确，是我国碳、硫联合测定 常用的方法，采用此方法的碳硫分析仪的精度，碳含量下限为.5%，硫含量下限为.5%，可满足大多数场合的需要。重量法：常用碱石棉吸收二氧化碳，由“增量”求出碳含量。硫的测定常用湿法，试样用酸氧化，转变为硫酸盐，然后在 介质中加入 ，生成硫酸钡，经沉淀、过滤、洗涤、灼烧，称量 计算得出硫的含量。重量法的缺点是分析速度慢，所以不可能用于企业现场碳硫分析，优点是具有较高的准确度，至今仍被作为标准方法，适用于标准实验室和研究机构。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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下面的方程1描述了期望达到的动态范围的提高量：ΔL=5log(n)[1]ΔL:通过互相关技术相位噪声灵敏度的提高量(单位dB)n:互相关的次数举个例子,如果互相关的次数为10,相位噪声的灵敏度提高5dB.理论分析产生脉冲调制信号的通用方法是使用信号源来持续不断对载波和脉冲波形进行幅度调制，在进行调制之前，先介绍几个脉冲的标准术语，是脉冲信号的波形，表1表示脉冲信号几个主要参数。图脉冲波形图表脉冲信号的标准术语除了知道脉冲信号的时域特性外，脉冲信号的频域特性也是非常重要的，由调幅原理可知道，产生调幅信号是通过载波和调制信号相乘来实现，而信号在时域的相乘等于信号在频域的卷积。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校准淮安-验厂 此模式继承了普通模式的所有优点，且改善了水平时基较大时，波形输出太慢的缺点，故被称为大时基模式。小提示：当时基较小，边采样边输出是没有意义的，因为人眼跟不上刷新的速度，所以普通模式和大时基模式一般会根据水平时基自动切换。如ZDS2000系列示波器在水平时基大于等于100ms/div时，会自动进入大时基模式如.2所示。.2为了更好展示地边采样边输出，大时基模式还了与上一帧数据对比刷新，让您更好地观察输入信号的变化如.3所示。