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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在LED节能路灯逐步普及后，传统城市照明中能源利用率低、路灯状态监控不便等问题逐渐解决，节约了大量的人力物力，然而接下来如何去提高节能路灯监控方案性价比将成为市政建设的必然趋势。图1市政节能LED灯智能路灯能根据状况、天气情况有效调节灯的亮度，同时能监控灯体的状态，提高维护效率。图2根据状态调节亮度从电力载波到现今的LoRa技术传统的路灯传输的电力载波模块优点是可以直接复用供电线作为信号传输线，但受国内普遍不合格电能质量干扰严重，传输效果很不理想且价格较高，亟待优化。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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模块电源广泛用于设备、接入设备、通讯、微波通讯以及光传输、路由器等通信领域和汽车电子、航天以及生活的各方各面。为了保证模块电源的安全可靠性能，电源模块离不完整的测试。AC-DDC-DC电源模块的完整测试往往包括机时间、关机时间、上升时间、下降时间的测试。测试系统，如艾德克斯ITS9500电源测试系统可以完整的进行测试。如果不使用测试系统，如何使用直流电源+直流电子负载的方式简单测试DC-DC电源模块的、关机时间和上升、下降时间 子负载，创新的时间量测功能，可以方便快捷地实现电源机时间与上升时间的测试，在电源行业有非常广泛的应用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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仪表的结构原理磁翻板液位计是根据浮力原理和磁性耦合作用研制而成。当被测容器中的液位升降时，液位计本体管中的磁性浮子也随之升降，浮子内的 磁钢通过磁耦合传递到磁翻柱指示器，驱动红、白翻柱翻转，从而实现液位清晰的指示。通过内置干簧管触点的闭，实现电流或电压信号的传送。磁翻板液位计在出厂时一般会通过模拟方法(此方法规程中未说明)进行调校，确保供货时与实际介质相匹配。液位计具体的现场校准步骤，首先要确定所测介质的密度介质密度可以用标准密度计测量，磁翻板液位计也可以根据用户的具体查取，介质密度需记录备案，确保介质密度能够符合液位计使用说明书的要求。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器外校永州-CNAS认证机构以120°为例，它有三个扇区。八十年代的天线还主要以单极化天线为主，而且已经始引入了阵列概念。虽然全向天线也有阵列，但只是垂直方向的阵列，单极化天线就出现了平面和方向性的天线。从形式来看，现在的天线和第二代的天线非常相似。1997年，双极化天线（±45°交叉双极化天线）始走上历史舞台。这时候的天线性能相比上一代有了很大的提升，不管是3G还是4G，主要潮流都是双极化天线。到了2.5G和3G时代，出现了很多多频段的天线。