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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

线性拓扑是CAN总线布线规范中 为常见的，如果采用了线性拓扑中的“T”型分支连接，按规定分支长度是不能大于0.3m的，需要更长的分支应该怎么呢？CAN拓扑分类CAN(控制器局域网,controllerareanetwork)属于工业现场总线的范畴，是一种有效支持分布式控制和实时控制的多主异步串行通信网络。CAN网络的拓扑结构主要有线性拓扑、星形拓扑、树状拓扑和环形拓扑，这几种拓扑的结构的特点如所示。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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因为关闭了继电器，短路电流通过，耐压测试为FAIL。显示FAIL，即表示没有断线和接触 ，有电流经过。然后打继电器（OFF），再次测试。因 初的测试是FAIL，确认了测试设备无异常，所以可断定实现了耐压的测试。该方法很有效，相对一个被测物需进行两次耐压测试，增加了接触时间。将经过合格品的电流设置为耐压测试的电流下限值的方法将经过合格品的电流设置为耐压测试的电流下限值，耐压测试仪检测出的电流低于该值时，即可确认有断线、接触 等现象。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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标准方法的度一般为1%到5%，”IntelliView产品发副总裁ShaneRogers表示。“然而，在采矿业中，管道通常以定期步行和/或乘车人工巡检的方式进行监控。毋庸置疑，这种运营方式代价高昂，更不必说这绝不可能是无懈可击的全天候控制过程。多年来，采矿工业极为关心泄漏和水资源管理对环境的影响，并且一直在积极寻求监控方法。”考虑到这些需求，IntelliView发出一种行之有效的、能在数秒钟之内检测和报小规模地上液体泄漏、和汇聚成池的方法。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校福建-认证中心尽量扩大测量动态范围1)通过计算平均值提高测量分辨率2)利用高分辨率采集提高测量分辨率3)使用交流耦合去除直流偏置4)使用示波器和探头限制带宽选择优化信号完整性的探测方法5)使用差分探头进行安全且的浮置测量6)不要选择耦合辐射功率的探测附件7)选择避示波器 灵敏设置的探头秘诀一:通过计算平均值提高测量分辨率在某些功率测量应用中，您需要测量大动态范围的值，同时还需要精细的分辨率，以测量参数的微小变化。