量器具校验攀枝花-检测单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电力电子飞速发展，产品研发对供电交流电源更高要求，即具备高精度、可编程、宽范围等优势的可编程交流电源。本篇简要介绍PWR系列高性能可编程交流电源的波形编辑功能和典型应用。波形编辑功能可编程电源特点是具备波形编辑功能，可通过上位机或机身操作面板进行编辑设定自定义输出波形，比如设置实现输出1s的220V正弦波，而后再输出1s的110V方波。PWR系列高性能可编程交流电源的波形编辑功能非常强大与丰富，主要有波形库调用、线路、步阶功能（Step），序列功能（List）、符合IEC标准的电压输出、波形导入还原输出等。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在频域内信号的所有不稳定度总和表现为载波两侧的噪声边带，边带噪声是一个间接的测量与射频信号功率频谱相关噪声功率的指标。边带噪声可以表述为调频边带噪声和调幅边带噪声。大多数的被相位噪声测试系统测量信号的调幅边带功率相对调频边带功率来说都很小，所以对大多数信号来说测量的边带噪声就是调频边带噪声（即相位噪声也称单边带相位噪声）。它的定义为1Hz带宽内相位调制边带的功率和信号总功率的比值，单位为dBc/Hz。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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既然测量系统的检测功能与投影比较仪有相似之处，为什么不能将两种仪器合而为一呢？为此，Starrett公司在它的卧式投影比较仪上重新设计了OV2光学/转接器，以增强其易用性。该公司自几年前 发出OV2系统后，现在对于在投影比较仪上使用测量系统的效益抱有更高的预期。为此，公司更换了系统原有的硬件联接方式，将图像输出与投影比较仪的读数器组合到QC300触摸显示屏上。该系统可通过切换在HD400投影比较仪滑轨上的两组透镜，实现光学测量方式与测量方式的相互转换。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验攀枝花-检测单位电池正成为未来电能一个非常、清洁的能源。与今天的传统能源相比，电池具有许多值得关注的优点。电池的动力来源于一种能够从许多再生资源中提取的元素：氢。从氢到电能的转化不产生污染，而传统发电方法不仅需要使用不可再生，还会造成污染。这些特性是电池成为未来汽车、商业、居住、及其他许多电气应用的可行能源重要原因。测试方案介绍硬件需求如今的电子负载都存在内部电阻，因而当电流较大时对应的带载电压也就越高。