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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

可以说是一种小的动物通过简捷的方式实现“无线”的沟通。人们借此称呼一种专注于低功耗、低成本、低复杂度、低速率的近程无线网络通信技术 协议发展起来的一种短距离无线通信技术,功耗低,被业界认为是 有可能应用在工控场合的无线方式。Zigbee是一个由可多到65000个无线数传模块组成的一个无线数传网络,在整个网络范围内,每一个Zigbee网络数传模块之间可以相互通信,每个网络节点间的距离可以从标准的75m无限扩展。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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的左边为欠补偿波形,中间为正常波形,右边为过补偿波形。无源探头补偿如ZDS2024PLUS标配ZP1025S高阻无源电压探头,具体参数如下表:表1ZP1025S规格型号1.21.2高压差分探头首先介绍下差分的概念:差分信号是互相参考,而非参考接地的信号。高压差分探头实质上是由两个对称的电压探头组成,分别对地有良好绝缘和较高阻抗,可以在更宽的频率范围内很高的共模比,可将任意间的两点浮接信号,转换成对地的信号,主要用于关电源等行业测试,原理图如所示。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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目前虚拟数字示波器发展迅速,它便携、小巧更加方便用户使用,带宽可选择及其高性能的指标能满足不同用户的需求,成为 有前途的产品。MSO混合信号示波器和FPGA内置的逻辑分析技术正在抢占传统逻辑分析仪的市场。电磁参量分析与记录装置正朝着更加简单易用、多功能、小型化方向发展,国内市场稳中有升,出口不断增加。电能质量分析随着国民经济和电力工业的飞速发展,用电负荷日趋复杂化和多样化,具有非线性、冲击性、不平衡特征负荷设备的广泛应用,导致电网的波形产生严重畸变,使得谐波、电压波动闪变、频率波动、三相不平衡、暂时过电压和瞬态过电压、电压凹陷与短时间间断等现象频发。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室盐城-认证机构尤其是前级超出人体安全电压的直流DC-DC模块电源,如137.5VDC的铁路应用模块电源、光伏应用的1200VDC模块电源产品等,没有进行隔离的话,可能就会直接物理和电气伤害。在行业,对电源的隔离要求更高,一般都要求是加强绝缘隔离,隔离越高漏电流越小,几个毫安的漏电流就可以夺走一个人的生命。GB-4943标准保护后级负载设备和系统隔离型电源输入与输出隔离分,在电源产品出现异常时,可对后级负载设备和系统的保护作用,避免其受到 伤害、物理伤害、等伤害。

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