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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

商存在的意义就是帮助工程师选择合适的关系统。一旦关系统选择完毕，商就会越来越多的增加他们公司自己的软件来帮助化系统的优势及潜能。PickeringInterfaces公司的产品技术 ，PXI系统联盟 BobStasonis先生谈到影响高密度关系统的其它几个关键因素。“随着复杂的电子控制单元（ECU）在所有电子行业-尤其是汽车、航天和半导体行业的普及，加上不断增加的产品上市时间压力，使用实时硬件在环（HIL）系统对ECU进行自动的功能验证就变得越来越重要。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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箭头的关键点检测，也是用了类似的方法，虽然它的网络模型已经改得面目全非了，但是它的原理是一样的，通过不同等级的金字塔级别，可以把不同级别的点信息融合起来，从而提高它的精度，另一方面提高它的检测率。在箭头或者是其他的一些关键点当中，也是需要知道每个点和另外一个点之间连接的关系，也就是它关系的回归。并不是所有的点回归都能够很。比如有些点在图像上，车辆运行过程中，有些箭头的关键点可以准确地回归出来，有些可能识别出来错误，这受限于我们之前学习到的经验等。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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因为示波器已经标配了模板测试和参数门限测试能力，所以能够一次性直接执行许多测试需求，而不需要花费大量的软件发时间。中，铜色的通往EMC干扰室的外部的门位于测试的右侧。在左侧，携带功能测试结果的橘黄色光纤中的光信号被转换为号后通过BNC线缆输入到示波器通道上。在EMC干扰室外用于抗干扰数据动态分析的示波器阵列示波器中的波形模板用于分析相对于预定义的一致性需求的波形形状。模板的尺寸取决于被测信号的功能标准，能够通过计算机在测试过程中进行自动化的调整。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室广州-认证单位一般来说，示波器都必须具备双轨迹输出显示装置，同时内建 等介面功能以便与绘图仪器连结，而利于后续量测显示资讯输出与绘图的研究比较之用。只是示波器缺点在于只侷限于低频信号，对于高频信号的分析便成为一大挑战。频谱分析仪的优势，正是在于弥补示波器针对高频信号分析的不足，并可同时将多频信号以频域的方式来呈现，以方便辨识各不同频率的功率装置，并显示信号在频域里的特性。