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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

红外热像仪在安全防范领域的应用场景红外热像仪广泛应用于国民生活中安全防范项目的各个领域。机场安防监控。机场是 重要公共场所及重要安全设施。无论是受保护的乘客、机场工作人员以及昂贵的设备，还是面对非法周界入侵、破坏机场设施等犯罪活动。停车场安防监控。在停车场内部以及各个出入口红外安防监控头，能日夜 停车场内安全环境，保护车辆和人员安全。同时能在时间发现盗窃、失窃、破坏等犯罪事件。港口安防监控。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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此时可再将IT6412电源的显示模式由电表模式切换至波形显示模式，此时更可清楚看出电流实际的变化曲线，会是在1mA至15mA变动，周期约是3ms。在波形模式下尚可借由时间长度的调整，更可看出电流波形的细部或是整体的曲线变化。时间轴为5ms/dvi可看出整体波形的变化时间轴为1ms/dvi可看出细部波形的变化IT64系列电池模拟器不管是在电表显示模式或是波形显示模式下，皆可使用IT6412的一键快速图形截取功能，只要插上USB，即可快速的将前面板的显示画面以图标的方式截取下来，以利后续文档报告的整理。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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低压接头用手上紧，加上锁紧螺丝可减少以上故障的发生，一旦发现低压接头损坏，应重新更换。高压接头的故障与低压接头差不多，污染和装置不当也常有发生。使用合适的工具在拧紧接头的时候一定要仔细，过紧可能会损坏螺纹、刃环等，引起漏液， 糟糕的是会使接头断在螺母内部。使用手拧紧接头，不需要任何工具就可以密封。旋紧接头时要用死扳手，不用活扳手，保证不损坏接头。注意接头的清洁与拆卸接头时要检查在密封面上有无微粒和无机盐晶体。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准怀化-认证中心同时，还须注意传感器的方法，支撑结构的设置，如何克服横向力等问题。作为一次仪表的传感器通常由敏感元件与转换元件组成。转换元件就是精密的电桥。测力秤重用电阻应变式传感器主要由性体、应变片、粘帖胶及各种补偿电阻构成。他的稳定性也必然是由这些元件的内、外因的综合作用所决定。本文就此问题进行探讨，谈些粗浅看法，与同行商榷。首先是性元件。性元件一般是由 合金钢材及有色金属铝、铍青铜等成型，影响性体稳定性，主要是它经各种后的金相组织及残余应力。