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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

嵌入式设计人员之所以采用MSO，是因为它从能够查看2个或4个信号，扩展到能够查看 多20个信号，而不必求助于 的工具——逻辑分析仪。尽管这种通道数量长期来一直被市场广泛接受，但这是不是仍适合当今的嵌入式系统呢？对示波器商和嵌入式系统设计人员来说，这是一个值得思考的问题。商必需知道其的是不是客户实际需要的、愿意付费购的测试功能。设计人员则需要适合作业的工具。对这一问题的思考，推动了多个科研项目的实施，来自世界各地的嵌入式系统工程师正更加深入地考察示波器通道数量问题。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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激光的发展不仅是光纤激光器，在216年紫外激光器也取得了令人瞩目的增长，两三年前 固体紫外激光器的总出货量不过3台左右，到216年猛增至一万台，行业出现缺货现象，紫外激光器一时间“洛阳纸贵”。紫外激光器是很多工业领域中各种PCB材料应用的选择，从生产 基本的电路板，电路布线，到生产袖珍型嵌入式芯片等 工艺都通用。这一材料的差异性使得紫外激光器成为了很多工业领域中各种PCB材料应用的选择，从生产 基本的电路板，电路布线，到生产袖珍型嵌入式芯片等 工艺都通用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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从狭义上上讲，智能网联汽车是搭载先进的车载传感器、控制器、执行器等装置，并融合现代通信与网络技术，实现V2X智能信息共享，具备复杂的环境感知、智能决策、协同控制和执行等功能，可实现安全、舒适、节能、行驶，并 终可替代人来操作的新一代汽车。从广义上讲，智能联汽车是以车辆为主体和主要节点，融合现代通信和网路技术，使车辆与外部节点实现信息共享和协同控制，以达到车辆安全、有序、、节能行驶的新一代多车辆系统。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校益阳-检测单位光学心率传感器的基本结构与运行光学心率传感器使用四个主要技术元件来测量心率：光发射器——通常至少由两个光发射二极管(LED)构成，它们会将光波照进皮肤内部。光电二极管和模拟前端(AFE)——这些元件捕获穿戴者折射的光，并将这些模拟信号转换成数字信号用于计算可实际应用的心率数据。加速计——加速计可测量运动，与光信号结合运用，作为PPG算法的输入。算法——算法能够来自AFE和加速计的信号，然后将后的信号叠加到PPG波形上，由此可生成持续的、运动容错心率数据和其他生物计量数据。