仪器计量金华-检测单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在正常情况下，模块商或商会根据传输速率、传输距离、频段、认证、包装尺寸等对的数千个模块分类。考虑固然很重要，但某些因素要更加关键。通过把 主要的重点放在传输速率、传输距离(或覆盖范围)和功耗上，可以有效地缩小选择范围。对这些因素出平衡取舍之后，在此基础上选择一个模块，可以帮助您制订直接影响 终用户体验的决策。将快速考察这些参数，及其怎样影响您的器件性能。1)传输速率传输速率或数据速率通常是设计人员和发人员考虑的件事，因为它会迫使设计人员和发人员考虑器件之间需要传送的信息类型。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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按相等时间间隔对信号采样以重建波形，具体原理图如图1所示。适用场景：对波形捕获模式无特殊要求时使用。标准捕获模式原理峰值捕获模式在该模式下，示波器至少能显示出来与采样周期一样宽的所有脉冲。原理：采集到采样间隔信号的值和值，具体原理图如图2所示。适用场景：捕获可能丢失的窄脉冲和高频率的毛。注意事项：虽然该模式可避免信号混淆，但显示的噪声较大。图2峰值捕获模式原理平均捕获模式在该模式下，可先设置一个平均次数N，具体设置方法为：在示波器前面板上按下Acquire键，按下平均次数菜单软键，通过调节A/B旋钮设置平均次数的数值。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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同时集成高精度功率计，实现高达99次的谐波分析与实时的电气测试测量；配备GUI监控软件，可对交流电源进行实时监控，并多元的简捷操作体验。高性能可编程交流电源适用于电子产品研发、认证、生产检验等阶段的测试，集成完善的保护功能（OVP/OCP/OPP/OTP等），可轻松应对复杂的测试应用。PSA系列高性能可编程交流电源特色：输出交流电压范围：~15/~3Vrms；输出直流电压范围：~212/~424V；输出频率范围：1~2Hz；交流输出功率：2~21KVA；测试精度，可达.2%；高功率密度设计，4U/6KW/3-phase；输出模式：ADAC+DC；W交流电源自由切换单相或三相模式；可调初始/结束相位角、电压变化率；集成List、Step、线路等功能，实现电压波动输出；集成高精度功率计，可实时量测如电压、电流、功率等电气参数 9等标准的电压波动测试（专业版）；谐波、宽基波频率，高达5阶谐波， 模拟失真电网（专业版）；强大谐波分析功能，高达99阶谐波成分分析；USB接口支持导入导出，包括系统参数、波形库、编程波形参数；内置多种类型波形数据，可快捷调用（专业版）；支持多机并联输出，可实现大功率单相或三相交流电源；标配RS-232/USB/Ethernet等通讯接口；交流电源标准版与专业版，满足多种应用场景的需求。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量金华-检测单位所以说，大工件应该是精度和体量的统一体。如果一定要从尺寸上来区分的话，也许以2m体量起，有机精度要求的机械零件就可以认为是大工件。比较典型 0mm）、小的风电轮毂(球径3000mm左右)等，而且其孔系的位置度要求非常高（0.03mm左右），能应对其长宽高体量特征和测量精度的常规固定式坐标测量机已不多。以此类推，那么汽车白车身这一类工件的测量则不被认为是大工件，因为已经有成系列的 坐标测量机，同时由于是钣金成形及拼接件，其总体精度与机件相比还有一定的差距。