仪器计量渭南-检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

多端口的WSS模块能独立地将任意波长分配到任意路径，因此基于WSS技术的ROADM具有多个自由度，可实现Mesh网络互联。如所示，主流WSS采用衍射光栅或AWG进行滤波，然后通过MEMS控制微反射镜进行波长。典型维度数为4~9个维度，架构可以分为BS和RS。厂商根据市场需求始加入上下路层的可重构技术，如Colorless、Directionless或ColorlessDirectionless。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一个8位二进制数有28=256个可能值，如果某个速度计使用8位来表示0到255公里/小时范围的速度，则速度值将以1公里/小时的间隔进行显示，因此司机总会有约0.5公里/小时的误差，这类误差称为量化误差。泰仕如果速度范围是0到127公里/小时，那么这256个可能值就被挤入一个更小的空间，误差也相应减小了一半。认为量化误差是仅有的测量误差是一个危险的错误，但也是一个常见错误。各类测量设备包括数据采集产品的产品和目录中一般关注几个指标：分辨率、测量范围、采样率和带宽，其中分辨率就是用来代表信号实际值的二进制数字的长度，一般从8位到24位，力博它只会影响量化误差。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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光通信是一门古老的技术。通常，手是光调制器，眼睛是光探测器，光在空气中传播。显然，这样的光通信有许多缺点，它不能适应现代电子学发展的要求。1966年Kao和Hockham提出用低损耗光纤导光，从而解决了光在大气中传播的不稳定因素，使远距离导光成为可能。利用光纤研制光纤传感器始于1977年，该技术一问世即引起人们的极大兴趣，目前光纤传感器已经得到异常迅猛的发展。光纤传感器发展十分迅速的主要原因，是它具有其他传感器不可媲许多优点。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量渭南-检测公司所以，如想使电流信号在电缆周围产生磁场，流经线芯与金属护层的电流值就不能相等，必须有一部分电流从其它导体分流，这里的其它导体就是大地，从大地中分流的电流I，是路径探测的关键，I，越大，电缆周围的磁场就越大。相对耦合法，直连法给电缆施加信号较强，优先使用直连法，且使用相和大地之间注入信号的接线方式（铠装悬空）；由于110kV电缆的护层存在一定感应电压，采用耦合夹钳的接线方式时，不可将夹钳钳口完全闭合，否则会在环形夹钳上形成感应电流损坏仪器，此时在闭合钳口垫上一张薄纸片即可；采用直连法（金属护层和地之间注入信号的接线方式）时更不能直接接线，此时可增加一个信号发生器LVD5000屏蔽此感应电压，防止损坏设备或造成干扰。