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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

当转换关K与零线接通时，测试仪所采样的是中线与外壳间的泄漏电流；当K与相线接通时，测试的是相线与外壳间的泄漏电流。必须注意的是：K与零线接通或K与相线接通，泄漏电流不一定相同。这是因为家用电器绝缘弱点的位置是随机的。泄漏电流测试应通过K转换极性，取其中的较大值作为被测电热器具的泄漏电流值。测试注意事项在工作温度下测量泄漏电流时，如果被测电器不是通过隔离变压器供电，被测电器应彩绝缘性能可靠的物质绝缘垫与地绝缘。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在过去25年里，微控制器的内部外设发生了巨大的变化。 初许多微控制器只包含RAM、ROM，也许还有基本的定时器。随着微控制器的发展，更多的外设被基础到这种单价不超过一美元的器件中。定时器/计数器、PWM和包括UART、SPI和I2C在内的标准串行接口常用于这些廉价的微控制器。另一个重大变化是32位CPU正在取代同一价格范围的8位器件。但是即便有如此丰富的特性，对于廉价微控制器而言，随时都存在微控制器厂商不能迅速支持的项目 硬件接口或新的第三方接口。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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当总线变为空闲时，若RXD引脚输出低电平，则可能导致MCU接收到错误数据或MC HT门限电平数据发生了什么变化?如所示，收发器1在AB差分电压处于±200mV门限电平之内时输出高电平，收发器2在AB差分电压处于±200mV门限电平之内时输出低电平，可以看出，收发器2可能导致MCU接收到错误的数据，并且在数据后误接收到1个000数据。数据后多000如所示，若总线上持续存在数据信号或连续发送多个字节数据，在数据之间存在的空闲状态可能会被收发器2识别为1个起始位，从而导致数据连续错误。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校扬州-外校单位差热分析操作简单，但在实际工作中往往发现同一试样在不同仪器上测量，或不同的在同一仪器上测量，所得到的差热曲线结果有差异。峰的温度、形状、面积和峰值大小都会发生一定变化。其主要原因因为热量与许多因素有关，传热情况比较复杂所造成的。一般说来，一是仪器，二是样品。虽然影响因素很多，但只要严格控制某种条件，仍可获得较好的重现性。气氛和压力的选择气氛和压力可以影响样品化学反应和物理变化的平衡温度、峰形。必须根据样品的性质选择适当的气氛和压力，有的样品易氧化，可以通入NNe等惰性气体。