测试仪表校正滁州-计量单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

未来，高防伪印刷（、安全文件、等，如）将需要至少5kHz或更高的频率，同时业界现在想在包装设计中实现照相效果般的印刷，这也需要类似的性能。：用激光雕刻印刷用的滚筒相比直接调制RF激光的放电，声光调制器（AOMs）可以用调制频率快得多的方法来控制激光光束。但是声光调制器由于在锗晶体的吸收及其损伤阈值而受到限制。为了获得的输出结果，必须精心设计声光调制器、激光源和光束路径。对所有先进的激光器进行测试，特别是它们的脉冲行为、功率稳定性、指向稳定性和模式。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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50Ω直接连接的响应被用作参考波形。有源探头响应与参考波形几乎无法区分。由于输入电容较高，无源探头响应有圆角。注意测量的上升时间。参考波形的上升时间（参数读数P1）为456皮秒(ps)，有源探头(P2)的上升时间则为492皮秒。无源探头的上升时间(P3)为1.8纳秒(ns)。在带宽相同的情况下，有源探头的性能通常优于无源探头。但还必须记住，有源探头需要电源。由于这个原因，有源探头几乎针对不同商的示波器均了 连接器。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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示波器用户在进行幅值/峰值等垂直量测量时，偶然遇到测量结果与预期稍有偏差，测量不够准确的问题，使用户对示波器的测量精度产生了质疑，在这里说说示波器幅值/峰值等垂直量测量为什么出现测量偏差，针对这种现象将如何从而减少测量误差。客户在使用示波器测量高频信号、强电压、微小信号或者电源纹波、噪声等的幅值/峰值等垂直量时，测量值出现偏差，垂直量测量值偏小或偏大等，导致用户对示波器测量准确性产生质疑。示波器测量疑问示波器垂直量测量出现偏差的原因归结为以下四点：低频补偿调节与否；示波器的底噪干扰对测量的影响；示波器的幅频特性曲线差异；④示波器的垂直分辨率对测量的影响。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正滁州-计量单位1×、10×这些名称的由来，是因为之前的示波器没有自动识别探头衰减系数和自动调节的能力，所以需要通过1×、10×这些名称来提醒测试者记得要把测量出来的结果乘以相应的倍数。带宽带宽也同样是一个探头必备的参数，指的是探头导致信号衰减-3dB情况下的频率点。如下图所示：如100MHz探头就有100MHz带宽，500MHz探头就有500MHz带宽。一些探头，还会有一个低频的带宽频率，比如一些AC探头，不能传递DC信号，它在低频段会有一个带宽参数。