测试仪表校验台州-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在始工作前检测设备可减少因测试设备的原因造成耐压测试的误判断。但是在检测设备的不断自动化情况下，必须注意即使每天在 初工作前进行了点检，而且无任何问题始了工作，但因一次自动机械设备的 状况引起的接触 ，直至下次点检，都有可能没被注意。 坏时，有可能次品混入于一整天的生产产品中。怎样才能避免以上情况的发生呢？在此，介绍几种实际的操作方法，以及各种方法的优缺点。使用继电器的方法首先关闭继电器进行耐压测试。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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“萨德”系统(THAAD)是美国研制的机动式 道防御系统，主要是针对高空进行拦截，采用 、红外、雷达三位一体的综合预方式。能与TMNMD系统相连接，而且射程远，防护区域大。该系统由拦截、车载式发射架、地面雷达，以及战斗管理与指挥、控制、通信、情报系统等组成。“萨德”系统(THAAD)有两套核心组件，其一是拦截，长6.17米，径.37米，起飞重量9公斤，速度可达25米/秒，由助推器、动能(KKV)及整流罩组成。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在这些应用中，仪器具有直接的经济影响。当产品的监管权或“拥有权”转移时，征费的合理性会受到怀疑，市政部门作为入方，会质疑为什么商的流量计与其自身流量计的测量结果不同。由于大多数解决方案都十分昂贵并会中断运行，很少得到采用，征费公司找不到简便法证明其流量计是准确有效的。于是，市政部门只能调整它们的测量结果并降低征收的费用。类似的情况，当电磁流量计用来测量待的水质时， 的精度会使费用增加(即化学品与能源的浪费)，并可能影响环境。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校验台州-计量公司晶体管的噪声晶体管的噪声主要有热噪声、散粒噪声、闪烁噪声。热噪声是由于载流子不规则的热运动通过BJT内3个区的体电阻及相应的引线电阻时而产生。其中rbb所产生的噪声是主要的。通常所说的BJT中的电流，只是一个平均值。实际上通过发射结注入到基区的载流子数目，在各个瞬时都不相同，因而发射极电流或集电极电流都有无规则的波动，会产生散粒噪声。由于半导体材料及工艺水平使得晶体管表面清洁不好而引起的噪声称为闪烁噪声。