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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

本文将分析RMS功率检波器的在微波频率实现复杂调制信号的准确功率测量实验，给微波设计工程师安利一波。LTC5596的RF输入准确地阻抗匹配至5Ω(从1MHz至高达4GHz)，如图1中的实测回程损耗所示。图1：输入回程损耗与频率的关系曲线RF输入的“地-信号-地”配置专为在5密耳厚的RO33或相似衬底上与一个共面接地波导无缝对接而设计，并不需要任何外部匹配组件。图2：LTC5596引出脚配置和接口连接此外，LTC5596的响应在一个宽输入频率范围内几乎没有什么变化。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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LP8758就是业内进多相位转换器的示例，它是手机器电源的理想选择。它具有低IQ，小总体解决方案尺寸，16A峰值电流能力，低纹波和快速瞬态。在多个电感器，而不是在一个电感器内储存电能，降低了电感器尺寸。这使得设计人员能够使用具有小芯片电感器的LP8758，使得解决方案尺寸减小到60mm2以下。如所示，每个输出稍微运行在相位之外。由于红色和蓝色的相位电流在相位之外，它们能够组合在一起，而又不会在输出上导致较大的纹波。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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同样的输入输出电压、同样的功率、同样的封装，不同厂家的电源模块，哪个性能更好？对于一个性能优良的电源模块来说，需要测试的项目很多，而且这些性能之间是紧密的，本文挑选其中几个方面的性能进行对比阐述。稳定可靠稳定可靠性是根本，如果工作时电源模块运行稳定可靠都不能保证，其他性能也就别提了。从设计的角度来看，需要考虑当模块处于 恶劣环境时模块中每个器件电应力和热应力在允许范围内并保证留有一定裕量，且在系统受到一定干扰时，应保持稳定。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校新乡-计量公司电压暂降目前被公认为电子业危害的电能质量问题。芯片测试仪:电压低于85%时，测试仪停止工作，芯片、主板被毁坏工业机器人：由机器人控制对金属部件进行钻、切割等精密的机械工具，为保证产品质量和安全，工作电压槛值一般设为90%，当电压低于此值、持续时间超过40～60ms时，被跳闸。变频调速器：当电压低于70%且持续时间超过120ms时，ASD被切除。而对于一些精细业中的电机，当电压低于90%且持续时间超过60ms时，电机就会跳闸而退出运行。