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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

曾经的一代枭雄 早的模拟示波器出现于20世纪初期，大概只有几MHz的带宽。也就是我们早些年见到的那种CRT显示屏的示波器。原理比较简单，在高中物理中已经有讲过：模拟示波器内部会产生周期性的锯齿波信号来控制银光平电子的水平偏转，被测的电压经过放大后控制荧光屏电子的垂直偏转。这样一来，光斑或者亮线就清楚的显示在荧光屏上了，就是波形嘛。一度被推上神坛在数字示波器刚刚推出的时候，很多工程师对其是不信任的，他们觉得模拟示波器才是实时示波器，而数字示波器不是实时的。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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当选取的谐振回路器件满足振荡器起振条件时振荡器始工作，VCO内的有源器件等效构成的负电阻部分所的能量能够满足谐振回路所消耗的能量则振荡电路的振荡条件能够得以维持，VCO能够正常工作。然而，VCO实际的工作状态绝非理想状态，并不是设计时所定的终端连接理想的50欧姆负载，因此其终端负载条件的变化会导致VCO出现输出振荡频率发生变化的非线性现象，这就是频率牵引，其表征参数为频率牵引系数。从可以看出，从VCO输出看去的阻抗变化会引起VCO的有源器件结上直流电压的变化，也就是说，VCO输出反射回来的信号功率能引起晶体管漏电流和偏置点的波动，导致该双极型晶体管集电极与基极之间的电压（Vcb）发生变化，影响集电极与基极之间的电容（Ccb），从而通过影响整个回路的谐振状态和条件导致振荡频率和相位噪声的改变。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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本文将详细叙述IT65C系列电源电压正负切换功能。IT65C系列电源电压正负切换功能IT65C系列电源除具有双象限电流功能外，在一定条件下，还具有电压正负切换功能，其实现方式如下：电压（voltag作为电势差或电位差，是衡量单位电荷在静电场中由于电势不同所产生的能量差的物理量。其大小等于单位正电荷因受电场力作用从A点到B点所的功，电压的正方向规定为从高电位指向低电位的方向。通常意义上电压幅值的大小，主要取决于高电位与低电位的压差。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正铜川-报价多少相比一代产品，二代产品外形几乎没有变化，但功能更加强大；其中Baby-LIN-RM-II可以支持高速CAN和低速CAN；Baby-LIN-MB-II也可以支持CAN总线；式的测试设备HARP-5可同时支持CAN，LIN，并带有显示屏，具有数据 的功能。下图是一个简单对比：Baby-LIN-II系列产品都配有免费的LINWorks软件，在PC上支持所有工作流程，可以在WINXP,VISTA,WIN7/8/1(32/64位)上操作。