仪器计量铜仁-检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

?位移量同步比较动态测量仪器。如测量线位移和角位移的渐线齿形检査仪、丝杠动态检査仪，以及测量角位移和角位移的齿形单面啮合检査仪、传动链测量仪等。在这类仪器中，测量角位移绝大多数用光栅式传感器，测量线位移也多数用光栅式传感器。?髙精度机床上的线位移和角位移测量。如高精度的光学坐标镗床、长刻线机和圆刻线机等。?数控机床上的位移测量。当前在数控机床的检测系统中，光栅式传感器用得很普遍，如数控车床、数控铣床，以及数控滚齿机等。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一台示波器正用于监控ECU的输出。鉴于保密原因使用数据，其能非常接近的观察典型ECU的输出。通道1和通道2显示的是的PWM信号，用于控制一个输出驱动执行器信号。执行器信号被捕获在通道3上，CAN分离信号被捕获在通道4上。电磁兼容一致性测试下显示的是关闭模板后示波器采集到的数据信号，每个信号的波形形状可以被清晰的显示和观察。示波器基于通道2的边沿触发，所有4个波形同时被捕获。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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为及时响应各种 的实际应急需求，到人防与技防相结合，我国应急设备和产品也始朝网络化、智能化、自动化的高标准靠近，在功能和技术上实现了新的变革和突破，其中，针对森林火灾防灾预的热成像技术以及针对突发性事故侦察应用和灾情回传的应急无人机成为防灾应急领域新兴的技术风向和高配装备。森林防火预应用由于节气和气候的影响，每年季度是森林火灾的高发期，而新的技术及创新产品将派上用场，避免事故的发生。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量铜仁-检测公司电磁流量计的大多数鉴定实验是在液体流过流量计和校准规范设备或参比流量计的情况下进行的。应留意保证实验管道中液体均匀安稳活动，不受因为扰动导致的部分速度急剧动摇的影响。关于工业进程活动条件下所特有的雷诺数范闱内，这种扰动经常出现。有以下几种电磁流量计性能鉴定法：1.有必要保持鉴定集体与厂之间 密切的联络。在决议实验程序时应留意厂对外表的技能说明，并寻求对实验程序和实验成果提出定见。参比流量计或校准规范设备应有适宜的规模，能包含被试流量计的流量规模。