测试仪器计量黄山-检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

如何合理决策安全跟车距离与安全跟车速度是ACC算法发的核心。从实际驾驶特性出发，提出一种有效的计算安全跟车距离的算法，基于此发全速自适应巡航系统，满足跟起、跟停、跟车、巡航等各种自适应巡航工况，满足实际驾驶情况的稳定性和舒适性。ACC系统结构与原理说明图1ACC系统结构注：VCU为VehicleControlUnit，整车控制器；ESC为ElectronicStabilityController，车身电子稳定控制系统；BMS为BatteryManagementSystem，电池管理系统。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一个半导体气体传感器商采用的基于PXI的集成化测试解决方案，该方案可测试所需的准确性，适应非常大规模的现场计数，并且在低成本的情况下可匹配高性能半导体测试系统的整体吞吐量性能。MOX气体传感器介绍MOX气体传感器是作为多芯片模块(MCM)的微机电系统(微机电系统)器件。MCM的基本组成部分是微控制器ASIC，在晶圆片上预测试，以及传感器本身。这些组件被放置在一个共同的基板上，盖子被放置在组件上，有一个小的孔或网，允许气体进入传感器。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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我们都知道，电子设备的可靠性及使用寿命与其模块中电子器件的温度、电压应力、电流应力及所处的环境温度有关。模块中关键电子器件工作的环境越恶劣，电子器件的工作温度越高可靠性与寿命就越低，一般器件的工作结温为15℃，工作结温的降额越充足，则器件的可靠性就越高。如下表2所示为该电源模块在常温25℃下，从低压19V到高压36V各关键电子器件的温度热成像图片，从图中可以看出该模块的关键器件表面温度不超过8℃，经过理论计算其内部结温不超过1℃，可保证模块的可靠性。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器计量黄山-检测公司而是模拟电路，那时采用的是活门式的空气流量传感器，但随着微机用于控制燃油，也出现了其他几种的空气流量传感器。活门式空气流量传感器的结构活门式空气流量传感器装在 发动机上，于空气滤清器与节气门之间，其功能是检测发动机的进气量，并把检测结果转换成号，再输入微机中。该传感器是由空气流量计与电位计两部分组成。先看空气流量传感器的工作过程。由空气滤清器吸入的空气冲向活门，活门转到进气量与回位簧平衡的位置处停止，也就是说，活门的度与进气量成成正比。