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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

目前，南京绿化园林部门已在主要道路、广场等的绿地布设2个监测点。在鼓楼区月光广场绿地上，园林养护单位布设了2处土壤墒情监测点。小小的立杆上装着太阳能电池板，为整套监测控制系统供电。立杆前方一块小小的盖板地下，着土壤湿度传感器、温度传感器、雨量传感器，以及供水管的电磁阀和流量传感器。其中，墒情是指土壤的湿度情况。这套灌溉智能控制和监测系统，不仅监测土壤湿度，还监测环境中的温度和降雨情况，比如湿度低于5%，电磁阀就会自动打浇水；温度低于5℃，无论湿度如何，电磁阀都会自动关闭，以免浇水造成冰冻。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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时间交错技术可使用多个相同的ADC（文中虽然仅讨论了ADC，但所有原理同样适用于DAC的时间交错特性），并以比每一个单独数据转换器工作采样速率更高的速率来常规采样数据序列。简单说来，时间交错（IL）由时间多路复用M个相同的ADC并联阵列组成。如图1所示。这样可以得到更高的净采样速率fs（采样周期Ts=1/fs），哪怕阵列中的每一个ADC实际上以较低的速率进行采样（和转换），即fs/M。举例而言，通过交错四个10位/100MSPSADC，理论上可以实现10位/400MSPSADC。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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异常检测技术已经被应用于确保解决网络安全和网联车辆安全性等挑战性问题。本文提出了这个领域的先前研究的分类。本文提出的分类学有3个总体维度，包括9个类别和38个子类别。从 中得出的主要观察结果是：真实世界的数据集很少被使用，大多数结果来自；V2V/V2I通信和车载通信不一起考虑；提议的技术很少针对基线进行评估；网联车辆的安全没有网络安全那么受关注。作者：GopiKrishnanRajbahadur1,AndrewJ.Malton2,AndrewWalenstein2andAhmedE.Hassan1I.介绍Velosa等人预测到22年将有25亿辆网联车辆上路。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正汕头-电话然后，以的采样率触发采集并填充每一帧，只捕获感兴趣的波形部分。然后，这些帧可以按照它们被捕获的顺序被单独查看，或者叠加以显示它们的相似性和差异性，从而使您能够轻松地审视波形，以便您可以将注意力集中在感兴趣的信号上。演示了这种方法，捕获了100,000帧。使用5系列MSO中的Fastframe分段存储器，以3.125GS/s的采样率捕获脉冲，记录长度与相同。Fastframe采集模式的触发速率可以达到每秒500万帧(采集/秒)，这比示波器其他的触发速率都要快得多。