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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

气体检测仪的种类有很多，在密闭空间中使用的气体检测仪主要有三类，这是由于气体种类决定的。密闭空间中的危险气体大致可以分为三大类；氧气水平（不足或过量）（氧气检测仪）、可燃气体（可燃气体报器）、有气体（有气体报器）。气体检测仪在设计时要根据这些气体的产生原因来设计，这些原因大致包括：空间中的自然过程（比如、腐烂等）；与密闭空间相关的工作过程；在空间中使用的或产生的物质；外在污染源等。在选择气体报器时应该考虑到：作为密闭空间进入的危险评估，一定要考虑到密闭空间内部和外部其他部位的状况，以及它们对密闭空间的潜在影响。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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由于在导通期间，Vds与Ids的值都很小，和8位示波器的量化误差相当。可以将Vds波形导通时的波形放大观察，同样也会出现前文提到的台阶状现象。而HRO的高分辨率特性使这种误差大大减小。通过对比测试，8位示波器测量的导通损耗是1.5W，HRO测量的导通损耗是688mW。使用低分辨率示波器的工程师，也许会花费很多精力物力去降低导通损耗，殊不知测量结果主要是量化误差。而HRO的高分辨率特性使这种误差大大减小。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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IT6100B高速度高精度可编程直流电源系列突破创新，提出CC/CV优先权概念，可帮助用户解决长期测试应用中的各种严苛问题，使需求电源高速或者无过冲等应用变得更加灵活，更节约了测试设备购置成本。高速度高精度可编程直流电源系列CC/CV优先权概念，用户可通过电源菜单界面实现CC控制环，CV控制环优先级别设定，满足多元化多领域的应用，无需额外采购，极大的节约了成本。在以电流优先模式工作时，通过加快CC环路的响应速度，当电流爬升至恒流设定值时，CC环路优先于CV环路起作用，快速响应并有效的控制电流停止爬升，避免电流的过冲，以便得到干净、良好的性能，同时拥有快速电流上升时间和过冲。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室内蒙古-电话所以永磁电机研发的工程师希望把自己的电机的齿槽转矩降到，使用永磁电机的工程师则希望了解手上这台电机的齿槽转矩，从而去优化他的控 矩的测试有了明确的定义：电机绕组路时，电机回转一周内，由电枢铁心槽，有趋于磁阻位置的倾向而产生的周期性力矩。齿槽转矩的测试方法常用的有：杠杆测量法、转矩仪法。杠杆测量法比较简单，测量精度比较差，所以主要用于对精度要求不高的场合。