测试仪表校正济南-CNAS认证机构

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测试仪表校正济南-CNAS认证机构测试仪表校正校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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所以，你可以选择比较便宜和简单的传感器，在许多传感器，以满足同一测量目的。如果测量结果进行定性分析的，选用重复精度高的传感器就可以了，不应该使用高精度的星等，如果进行定量分析，它是必要的，以获得准确的测量结果，在选择的度符合要求的传感器压力变送器。精度选择，以满足以下两个条件：满足仪表输入的要求。该传感器的输出信号必须是大于或等于的仪器所要求的输入信号；符合整个电子秤的精度要求。由三部分组成的一个电子秤秤体，传感器，仪器仪表，传感器的精度是选择的传感器的精度比理论值略高。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的 ℃的范围内，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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VCO的非线性特性以典型双极型晶体管管芯封装的科耳皮兹压控振荡器为例，如所示。从图中可以看出，按照振荡器的基本原理其有谐振电路、有源器件及输出负载三部分组成。调谐电压（Vcontrol）从电路左端输入，谐振回路包括变容二极管Cvar、谐振电感L1以及电容CCC和C5，其中变容二极管是一种在PN结上加反向偏压时产生电容变化的二极管，用于改变振荡器的电容量以达到输出频率可调的目的；有源器件为双极型晶体管用以放大振荡信号；输出负载为应用该振荡信号的部分，理想状态为50欧姆负载。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的滤波器在通信、事、测试测量等领域应用广泛，尤其在近几年的在微波及毫米波电路中有着广泛的应用。在低频段的应用中，集总参数滤波器有着良好的表现，但是随着频率升高到微波频段以上，集总参数元件(电容、电感)的Q值急剧下降，造成滤波器的插入损耗太大，这时就必须用分布参数元件来代替集总参数元件，但是分布参数元件滤波器的尺寸一般较大，因此有必要减小微波毫米波电路滤波器的尺寸。年 城市大学薛泉教授提出了一种紧凑的微带谐振器(CMRC)，此后螺旋紧凑微带谐振器(SCMRC)以及直线紧凑微带谐振器(BCMRC)又相继被提出。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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比较常用的汽车压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式。电容式压力传感器主要用于检测负压、液压、气压，测量范围为2kPa～1kPa，其特点是输入能量高，动态响应特性好、环境适应性好;压阻式压力传感器的性能则受温度影响较大，需要另设温度补偿电路，但适应于大批量生产;差动变压器式压力传感器有较大的输出，易于数字输出，但抗干扰性差;声表面波式压力传感器具有体积小、质量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、分辨力高、数字输出等特点，用于汽车吸气阀压力检测，能在高温下稳定地工作。