测试设备校准徐州-CNAS检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

探头端接测试点长时间监测异常ZDS4的时序分析软件具备长时间统计功能，下班后设置好示波器，对数据采集仪的SPI总线时序连续监测一个晚上，第二天上班的时候，导出监测分析结果，如所示，一个晚上总共进行了72185次测量，其中有1347次是测量失败的，导致异常的原因是SPI的数据建立时间不满足后级芯片的时序要求。示波器自动保存了这1347份失败的测试报告，打第1345份测试报告，如所示，显示了当前建立时间为3.75ns（包含时序违规处截图），不满足后级芯片4ns建立时间的要求，而且历史出现 差的时序是3.5ns，时序是8.5ns，问题得以。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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对TBC试件进行早期无损检测具有重大意义。实验原理根据Grzegorz采用盲孔缺陷代替脱粘缺陷进行分析的方法，在对TBC脱粘缺陷的检测实验中，通常在TBC试件的金属基底上盲孔缺陷来模拟真实的脱粘缺陷。本文的线激光扫描热成像方法分为粗扫描阶段和细扫描阶段。在粗扫描阶段的检测原理中，LLFST系统能够在TBC试件表面汇聚出激光点，控制激光点以直线方向高速。当扫描速度足够快且线状时，激光点可以看作是线激光。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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IT64系列不仅是高精度电源，还具有电池模拟功能，根据电池模型电池输出，可以任意设置电池起始状态，加速电池充放电测试。充放电过程中，模拟电池剩余容量（So和等效电池电阻（Res）。另配合IT9上位机软件可以记录电压、电流、容量随时间的数据。IT64系列具有无缝量程切换和宽动态电流范围，一次测量过程即可从纳安级至安培级范围内的测量，电流比高达5:1；快速的动态响应，确保对动态负载供电时快速瞬态响应和无毛工作。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校准徐州-CNAS检测公司环境保护署推出的关于天然气压缩机站监控的新法规于217年6月生效。这些法规要求对215年9月以来新建或改建的压缩机站进行 泄漏检测。虽然环境保护署关心的主要问题是减少 (一种烈性温室气体)排放，经验始表明利用红外热像仪执行的常规测试能节省公司成本以及提升安全性。案例分析为了衡量实施这些新法规的效果，在压缩机房执行泄漏探测及维修的承包商TargetEmissionServices收集了数次检测的数据。