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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

此外，通过主要接触器的电流电平等于通过高压电池本身的电流电平。在车辆运行期间，需要较大加速度，电流电平将非常高，并将持续一段时间，这将给电源关热管理系统带来重大挑战。典型的汽车电流电平与工作模式的关系如所示。一个建议的电池断系统方案如所示。它通过使用多个紧接的IGBT器件并联，解决了双向导电问题。这些器件必须具有合适的额定电流，并且必须有一个足够的散热系统来巨大的功率损耗。通过在负极导体中保持单个接触器来解决断态漏电流问题。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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同时，对风速的要求保证了 终制品在各层面上的分布一致性。18年，中部某省烟草局在公招标中，就选择采购了德图仪器环境多功能测量仪testo445，并为每台仪器配备了高温温湿度和高温风速探头。testo445是一款工业级环境多功能测量仪器，其独有的探头设计，能保证在高温、高湿或污染较严重的局部测量场合有优越的性和耐久性。使得包括温度、湿度、风速、压力、压力露点、水活度在内的关键参数信息得以轻松测量并加以管理分析。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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巴氏酵母和短乳杆菌分离的实验装置示意图。在入口处（即A-A），巴氏酵母和短乳杆菌随机分散。在惯性分馏（即B-B）之后，巴氏酵母沿着通道的内壁聚焦，并且通过在分叉点处放置适当的出口，可以分离这些细胞。在梯形截面的螺旋通道中，通过惯性升力和迪恩阻力的联合作用，内壁受力大于外壁，酵母细胞向出口内壁迁移。研究人员通过评估，选择1.5mL/min的流速作为流速，对巴氏酵母可以实现超过90％的分离效率。此外，为了提高短乳杆菌的分离效率，将其通过螺旋微通道再循环三次，分离效率可达90％以上。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验张家界-第三方公司此外，跟LiDAR系统不同，红外热成像传感器无惧浓雾或阳光直射。据报道，FLIR在今年年初发布了一款新型高分辨率热成像汽车发套件（ADK），这款ADK搭载了高分辨率FLIRBoson机芯，还配备了英特尔MovidiusMyriad2视觉单元，是FLIR目前一款在满足车规要求的紧凑型坚固封装中，匹配低功耗多核视觉器的红外热像仪模组。这类热敏传感器已经在多个领域获得广泛应用：热追踪、电路问题探测、火灾现场的人员位置确定等。