轻工实验室无锡-检测公司

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轻工实验室无锡-检测公司轻工实验室校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

一般说来，各组热丝之间阻值的差值不应超过0.2~0.5Ω，如超出此值，应按。双路流量相差太大或气路泄漏的：两路流量相差过大可通过调节气路控制阀加以解决，但此时两气路不应有泄漏。调零电路有路。记录器路或无反应。基线噪声与漂移造成热导检测器基线不稳定的原因很多，大约有几十种，常见的有：电源电压太低或波动太大、同一相上的电源负载变动太大；气路出口管道中有冷凝物或异物；仪器接地 ；柱室温控不稳、检测室温控有波动或漂移；载气不干净、气路被污染、载气气路中漏气、载气压力过低或快用完；稳定阀、稳流阀控制精度差；双柱气路相差太大，补偿 ；载气出口有风或出口处皂膜流量计中有皂液；柱填充物松动；机械振动过大；桥路直流稳压电源不稳；(12)柱中固定相流失；色谱仪基线不稳时，首先检查色谱仪气路是否存在污染现象，在气路中不干净的条件下，许多本来在气路干净时对基线稳定性影响很小的因素(如气流流量变化、控温波动等)对基线的稳定性影响却会突然增大。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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基于3672系列矢量网络分析仪的放大器增益压缩测量应用仅需一次设置，一次连接，一次校准就可以得到放大器在频域的所有增益压缩参数（包括压缩点的输入功率，压缩点的输出功率，压缩点的增益等）和线性参数（包括线性增益，输入匹配，输出匹配等）。我们具有：快速准确的智能扫描；一目了然的向导校准；方便快捷的USB电子校准，USB功率校准；二维扫描（频率点扫功率和功率点扫频率）一次完成；多种压缩方法——从线性/增益压缩、从饱和态压缩、回退法和X/Y法。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内，其测量精度为±1.5℃;在375～800℃的范围内，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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对于0-12V电源，在电压范围内乘以12：电压范围内240mA的偏移电流。注意，真正的三运放仪表放大器对电阻匹配的灵敏度比单运放差分放大器低。通常有更好的方法。上文提到的“设计实例”使用了带有分立电阻的单运放差分放大器。实际上，一个电阻器可以用一个电位器进行调整，我 初认为它用于CMRR，结果却是增益调整。如果电源电压稳定，从某种意义上说，这种方法可行——但这绝不是一个好主意。第二种 检测方法需要一点横向思维。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的拉曼光谱技术在材料科学研究中的应用拉曼光谱在材料科学中是物质结构研究的有力工具，在相组成界面、晶界等课题中可以很多工作。包括：薄膜结构材料拉曼研究：拉曼光谱已成CVD（化学气相沉积法）薄膜的检测和鉴定手段。拉曼可以研究单、多、微和非晶硅结构以及硼化非晶硅、氢化非晶硅、金刚石、类金刚石等层状薄膜的结构。超晶格材料研究：可通过测量超晶格中的应变层的拉曼频移计算出应变层的应力，根据拉曼峰的对称性，知道晶格的完整性。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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应用HD系列红外测温仪可以有效地克服以上缺点。该仪表具有较高的测量精度(可达±0.5%)，而且既能象热电耦一样输出号，进行自动记录和控制，又具有使用寿命长(五年以上)、操作简单、人为误差小等优点。HT系列红外测温仪是高温隧道窑理想的测温仪表。HT系列红外测温仪在隧道窑应用中，根据用户使用要求的不同，常用的有单点测温和多点切换测温二种方案。分别介绍如下：单点测温系统：每个测温点采用一个探头和一台仪表箱组成，测温单元进行温度采集。