测试设备校准成都-验厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

现场动平衡测量仪主要功能具有多功能性，既可作转速表用，又可作振动测量用，振动信号分析.现场动平衡测量仪特别是具有动平衡测量的一切功能。（不平衡振动量及相位即时显示）机器振动的频率分析（FFT124点）具有自动用试重法测量影响系数并计算单面和双面 配重，或已知影响系数直接根据测量的原始振动计算 配重，可边测边算，或一次性键入计算能力。（去试重或不去试重选择）现场动平衡测量仪具有将计算出的 配重向左右选定角度计算能力。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如果只在竖直(Y轴)偏转板上加一交变的正弦电压Uy=U0sinωt，则电子束的亮点将随电压的变化在竖直方向来回运动。由于Ux=0，所以光点在X轴方向无位移，在荧光屏上将显示一条竖直亮线。如果只在水平(X轴)偏转板上加上一个与时间成正比的锯齿波扫描电压Ux=KT(它可由示波器内的扫描发生器产生的)，电子束将在水平方向作周期性地从一边匀速到另一边，如果锯齿波的周期较长，在荧光屏上可以看到电子束的过程，如果锯齿波的周期足够短，荧光屏上将只显示一条水平亮线。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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它可用于测量污水、泥浆、矿浆、纸浆、化学纤维浆及其他介质。这使得它特别适合食品、制等行业，利用它可测量玉米糖浆、果汁、酒类、、血浆及其他许多特殊介质。电磁流量计的工作原理电磁流量计的工作原理基于法拉第电磁感应定律。根据法拉第定律，当导电流体流经传感器的磁场时，一对电极之间就会产生与体积流量成正比的电动势，其方向与流向和磁场垂直。电动势幅度可表示为：其中，E为感生电势，k为常数，B为磁通密度，D为测量管的内径，v为测量管内的流体在电极截面轴向上的平均速度。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校准成都-验厂 接上期内容，本期将分别介绍不同种类的高精度电流传感器。高精度的钳式电流传感器图6:高精度钳式电流传感器CT6843前期内容中，讲述了一般的钳式电流传感器，由于口构造，精度和测量结果的重现性不是很好，在这一章节里将介绍所示我们公 定)的特性的一部分。～是和相同量程的我们公司的贯通式电流传感器CT6863(200A额定)的特性比较。我们公司的钳式电流传感器具有与贯通式电流传感器非常接近的特性。