测试设备校正岳阳-第三方公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

与激光测径仪比较，不需要光学扫描机构。除软件本身具备测量数据的存储及分析功能以外，软件还外部数据库，方便使用方根据自身的需求进行测量数据的、整理、分析、计算、统计等。软件具备对棒材的错辊、耳子、头部缺陷长度、尾部缺陷长度的检测能力，为实际生产强有力的质量支撑。不使用工厂内的压缩空气和洁净气源，独特的冷却、防尘结构保障了测径仪内的清洁，将镜头的维护周期提高到3天以上。四路测径仪应用于外径尺寸的在线检测当中，实现高质量的测量，测量范围可根据需求，LPBJ15.12型测径仪可应用于各种轧钢现场使用，圆钢、合金钢、碳素钢等各种钢材的在线检测，对线棒管材均可进行在线测量及离线抽检。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在现场条件下校准，或在相同于现场条件的扰动阻流件与仪表一起，在实验室实流校验装置上校准。在仪表上游如下节所述的流动调整器。密封垫片偏心(未对准中心)。密封衬垫偏心，遮住了部分流通面积，使速度分布严重畸变不对称。由于不对称流动发生在流量传感器进口，即上游直管段长度为零，会对差压式、涡轮式、涡街式、超声式，靶式、电磁式等仪表带来测量误差。DN50mm电磁流量计衬垫偏心10mm，测量误差高达4%～10%；标准孔板的锐角未装在迎流面；仪表与管道间密封衬垫内径Dg小于管道内径Dp和仪表内径Dm而产生束流。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正岳阳-第三方公司PM3- 版Smartcollect 版PM3，在PM2的基础上引入SCADA设计理念，动态展示生产过程、能源流向、将测量数据、关状态、限值控制 结合，轻松分析现场状态，强大的数据比较分析为进一步优化控制好准备。通过使用Smartcollect系统，用户可以有效监测水、电、汽、热等能耗数据，清晰展示能源流向过程，监控电能质量环境，完成弱点辨识并自动生成报告，进而通过优化控制提高企业用能环境安全，降低能耗销，增强企业综合竞争力。