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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在没有火出现的场景中，红外热像仪将在高灵敏度模式下操作，显示热环境的全部细节。就FLIRK系列红外热像仪而言，高灵敏度模式能够测量高达+15°C的温度。如果发生火灾，热像仪将会切换到低灵敏度模式，该模式可实现较低灵敏度（较少细节）和较高表面温度监测能力之间的 平衡。就FLIRK系列红外热像仪而言，低灵敏度模式能够测量高达+65°C的温度。测量更高温度，即超过+65°C，意味着转换到更低灵敏度模式（所谓的第三增益模式），在此模式下，能测量更高温度，但是须以牺牲图像细节和对比度为代价，导致不可接受的图像质量损失。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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RFID技术可应用于飞机作业与流程跟踪领域,通过采用RFID技术，系统能够自动采集生产数据和设备状态数据，为生产管理者企业业务流程所有环节的实时数据，结合各工序设备的工艺特点和相关的工艺、质量指标参数，进行各生产重要环节的工艺参数和设备运行参数等生产信息的在线监测和分析，帮助企业实现生产过程中半成品工序、成品工序的计量等。通过采用RFID技术，可极大提升业的水平。射频识别(RadioFrequencyIdentification,RFID)技术是现代科学技术在社会各方面的创新性应用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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电网上的高压和超高压输电力线路传输路径很长，有的长达几百公里，甚至有的长达上千公里。其分布的地域又广。输电力线路长时间暴露在大气中，受气候和环境条件的影响，会在外界因素的作用下（如在雷击、雾、下雨、污秽等）发生闪烁，导致输电力线路故障的发生，这些是电网运行中不可避免的问题。现有技术中对电力线路监控往往采用人为实地勘察型，信息同步实时性差，工作人员无法实际的得到电力线路的工作状态，无法及时的发现故障，出。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校漳州-认证单位测量湿度的准确度为±(.6%RH+.7%m.v.)，范围在~9%RH之间，符合湿度标准ILAPTB和NIST。使用技巧：通过按下手柄上的按钮，将单个读数直接存储在测量仪器中。长期测量的测量菜单结构清晰，使测量仪器操作直观。读数趋势记录可靠，测量时间和测量周期输入方便。这些趋势使您能够评估数据中的变化。带玻璃保护套的实验室用温度探头：适用于实验室和工业测量。该玻璃涂层实验室探头配有可更换的玻璃保护套和Pt1温度传感器，具有长期稳定性。