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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

吸烟有害健康，很多人都知道这个道理，但由于吸烟属于慢性自杀，当事人并没有直观的感受，所以出于解闷解乏以至于装那啥，很多烟民对于上述示视而不见。常常听到吸烟者说，抽的不是烟，是。现在就让让飒特红外带你走进烟民的世界，看看红外热像仪拍摄的吸烟红外热图，我想你可能就不会“”了。脑补：隐约可见小的眼神～眼的亮光，就是在燃烧～通过红外热成像，我们可以快速探测到吸烟如何影响人体血液循环顺畅运行，导致吸烟者手脚供血不足。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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宽频电流传感器如前面所述，是使用薄膜霍尔元件零磁通方式的AC/DC电流传感器。核心的霍尔元件是采用我们公司自己发生产的薄膜霍尔元件。通过采用与以往产品相比大幅度降低干扰的薄膜霍尔元件，实现了输出率1V/A(是通常的10倍)和低干扰性。2显示的就是以往产品的比较。对小型马达等汽车电气部件的控制电流mA波形，可以进行更精细的观测。另外，具有120MHz(-3dB)的宽频，与示波器等波形观测仪器连接使用，可以观测到含有各种频率成分的电流波形。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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空气流量传感器（也称空气流量计）是电喷发动机的重要传感器之一。它将吸入的空气流量转换成号送至电控单元(ECU），作为决定喷油的基本信号之一，是测定吸入发动机的空气流量的传感器。概述电子控制 发动机为了在各种运转工况下都能获得浓度的混合气，必须正确地测定每一瞬间吸入发动机的空气量，以此作为ECU计算(控制）喷油量的主要依据。如果空气流量传感器或线路出现故障，ECU得不到正确的进气量信号，就不能正常地进行喷油量的控制，将造成混合气过浓或过稀，使发动机运转不正常。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室南阳-电话“531”新政为狂奔的光伏行业泼了一盆冷水，市场需求的紧缩，迫使光伏企业各出奇招，寻找新的突破口。从单纯的光伏发电，提升为综合的用户智慧能源管理，是许多光伏企业设计的产业升级之路。于是光伏逆变器企业不约而同的将储能产品提上了位。用户侧储能主要会应用于智慧城市、智慧乡村、工业园区、、车站、景区等大型工商业、服务业高耗电单位以及缺电、电能质量差的地区，发挥削峰填谷、降低高峰负荷压力等作用，是实现用户侧智慧能源管理的重要环节。