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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在这个竞争激烈的大市场中，新产品的推出速度与产品的可靠性能决定了是否可取得预想的效果，这就对我们的产品研发人员提出了更高的要求，而有时选择了一个正确的方向便将得到事半功倍的效果。当你接到一个多设备协同作业的系统设计任务是，通讯方案的选择便显得至关重要，是用传统的RS485，还是用同样已被广泛使用的CAN总线通信，也许将给你带来完全不一样的发感受，下方我们将对这两个通讯方式一个比较，以便大家更好的好方案的设计。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如果套管内部存在缺陷，也可能导致套管异常发热。在这种情况下，发生故障套管的整体温度一般较其他正常的两相高（如下图红外热像仪应用在套管上）。如果套管内部或外部接头存在接触 ，或接点被氧化腐蚀，也可能导致套管接触点温度异常。在这种情况下，发生故障套管接触点就会表现出触点的温度明显高于其他正常的点或线路或套管。变压器套管热缺陷的红外热像仪应用检测依据根据DL/T664-20089.1电流致热型设备的判断：套管将帽与外部接线板或内部导电杆接触 是电流致热故障，判断依据如下：套管内部存在缺陷的情况比较复杂：有可能是电压致热故障所引起的，也有可能是套管机械损伤造成的。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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现场动平衡测量仪兼备现场振动数据测量、振动分析和单双面动平衡等诸多功能，简捷易用，现场动平衡测量仪是工矿企业预知保养维修，尤其是风机、电动机等设备厂和振动技术服务机构 为理想之工具.现场动平衡测量仪操作简单，人机对话，菜单提示，测量数据可随时锁定保持，配机内蓄电池和市电双重供电，很方便地用于现场旋转机械的动平衡测试。现场动平衡测量仪也可与平衡机相配套，直接替代平衡机电箱，现场动平衡测量仪用于老平衡机的改造。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正九江-外校单位声级计是一种能把工业噪声、生活噪声和交通噪声等，按人耳听觉特性近似地测定其噪声级的仪器。噪声级是指用声级计测得的并经过听感修正的声压级(dB)或响度级(phon)。根据声级计在标准条件下测量1Hz纯音所表现的精度，6年代上把声级计分为两类，一类叫精密声级计，一类叫普通。我国也采用这种方法。年代以来，有些 推出四类分法，即分为型、1型、2型和3型。它们的精度分别为±.4d±.7d±1.dB和±1.5dB。