工程类实验室厦门-校准机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

IT76电压可达3V/6V/12V，频率范围1-5Hz。测试时，可步进增大或减小电压或者频率，此时观察DC输出端电压是否跌落至保护。电压短时中断测试，输入电压或频率的瞬变GJB181A-23中针对这一项内容主要是针对交流用电设备在交流电出现瞬间跌落或异常波动的情况下的运行特性。IT76系列具备交流电压与直流偏移电压的功能，可以模拟任意波形输出，同时也可以IEC61-4-11标准针对电压突降，短路中断和电压变化规定项目测试。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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当基准杯内充满后会溢出流向溢流室。溢流室连接汽包的下降管，溢流室的凝结水就会进入下降管内流出，不会使得溢流室内满水。在蒸汽形成凝结水时，温度不会相差较大，使得基准杯到溢流室的温度保持一致，也就和汽包的温度能够达到一致。倒T字形连通器，其水平部分一端接入汽包，另一端接入变送器的正压侧。毋庸置疑，它的主要作用是将汽包中动态的水位产生的压力传递给变送器的正压侧，与负压侧的压力比较由电流信号换算成汽包中的水位。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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不仅解决了这些行业的难题，同时也为这些行业带来了更多的解决方案，是现在发展的又一次飞跃。现在光纤激光器的高速发展，离不现在光纤激光器的双包层结构和包层泵浦技术的支持，也离不现在的半导体激光工艺的成熟，而光纤光栅的刻划和多元耦合器的实现着无疑不是推动了现在光纤激光器的快速发展，让现在的光纤激光技术能够快速渗透到我们现在的众多方面。目前我们的光纤激光器主要是通过参杂稀有元素作为激光介质，包括掺杂Yb3+，Nd3+，Er3+，Ho3+，Tm3+等离子材料。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室厦门-校准机构激光是上世纪6年代发展起来的一项新技术，是一种颜色很纯、能量高度集中、方向性很好的光。随着电子技术、激光技术等新型技术的飞速发展，激光测距仪顺应时代诞生。激光测距仪的工作原理十分简单：通过测定激光始发射到激光从目标反射回来的时间来测定距离，所以它是利用调制激光的某个参数实现对目标的距离测量的仪器，重量轻、体积小、操作简单，速度快而准确，其误差仅为其它光学测距仪的五分之一到数百分之一。这些优点集中于激光测距仪一身，使其市场情形一片大好。