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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

X射线光谱分析仪的好坏常常是以X射线强度测量的理论统计误差来表示的，BX系列波长色散X射线荧光仪的稳定性和再现性，已足以保证待测样品分析测量的精度，被分析样品的制样技术成为影响分析准确度的至关重要的因素，在样品方面所花的工夫将会反映在分析结果的质量上。X射线荧光仪器分析误差的来源主要有以下几个方面：1.采样误差：非均质材料样品的代表性2.样品的：制样技术的稳定性产生均匀样品的技术3.不适当的标样：待测样品是否在标样的组成范围内标样元素测定值的准确度标样与样品的稳定性4.仪器误差：计数的统计误差样品的位置灵敏度和漂移重现性5.不适当的定量数学模型：不正确的算法元素间的干扰效应未经校正颗粒效应纯物质的荧光强度随颗粒的减小而增大，在多元素体系中，已经证明一些元素的强度与吸收和增应有关，这些效应可以引起某些元素的强度增加和另一些元素的强度减小。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在本文中，我们将回顾以前发布的技术，这些技术通过偏移LO频率并以数字方式补偿此偏移，强制杂散信号去相关。已知杂散去相关方法在相控阵中，用于强制杂散去相关的各种方法问世已有些时日。已知的份文献1可以追溯到2002年，该文描述了用于确保接收器杂散不相关的一种通用方法。在这种方法中，先以已知方式，修改从接收器到接收器的信号。然后，接收器的非线性分量使信号失真。在接收器输出端，将刚才在接收器中引入的修改反转。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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其更常用的说法为折合到输入端噪声。折合到输入端噪声通常用将直流输入施加到转换器时的若干输出样本的直方图来表征。大多数高速或高分辨率ADC的输出为一系列以直流输入标称值为中心的代码。为了测量其值，ADC的输入端接地或连接到一个深度去耦的电压源，然后采集大量输出样本并将其表示为直方图（有时也称为“接地输入”直方图）-见。由于噪声大致呈高斯分布，因此可以计算直方图的标准差σ，它对应于有效输入均方根噪声，表示为LSBrms。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量衢州-电话每一种测量模式是怎么计算的，如何应用，本文将进行详细说明。RMS（真有效值）真有效值简单而言即代表一交流电相当于多大数值的直流电在单位时间内所的功，真有效值为10V的交流电与10V的直流电对相同的负载在相同的时间下所的功相同。举个例子来说有一组100伏的电池组，每次供电10分钟之后停10分钟（模拟出交流信号），如果这组电池带动的是10Ω电阻，供电的10分钟内，产生的电流I=U/R=10A，功率P=U*I=1000W的功率，停电时电流和功率为零,那么在20分钟的其平均功率为500W。