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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

总体来说，我们 近在这个领域上没有接触更多的需求。虽然许多客户希望设备尽可能的小，但是他们 关心的还是性能和价格，尺寸往往在优先级列表中比较低。我们看到这三个方面是大型关组中的一个问题，在大型关的作用下人们想要分组切换更大数量的线缆，举例：一个1*16的关一次切换250个线缆，在 终用户想要交叉连接数百个输入和数百个输出时使用的高密度通信矩阵，以及大电流关。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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示波器是一种电子测量仪器，可以把人们肉眼无法看到的号转换为可见图像，具有测量准确、维护简便、使用灵活等多种的优点。示波器在使用的过程中有一些重要的环节是需要我们掌握的，今天小编就来为大家具体介绍一下示波器使用中的重要环节吧，希望可以帮助到大家。用信号发生器给板子输入信号，则示波器一般只能用于测试电路上某个节点和地之间的波形，如果测两个节点之间的波形，则探头上的地线可能会将地线后面其余的电路短路掉，所以，要想测两个节点间的波形，要合理的变换一下电路形式，或者一些用于测试的附加电路。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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目前许多场合采用这种测试方法，但是其非常危险，因为示波器通道与地，通道与通道之间都是不隔离的，所以测试时，示波器裸露在外的所有金属端口，都是带电的。使用差分探头测试使用差分探头测试是目前比较规范的一种方法，通过探头处进行隔离，避免了输入输出共地的情况。但是差分探头也有局限性，首先由于测试通道较多，且探头属于易损配件，使用差分探头会增大成本。其次，在一些场合中，测试点往往是较小的孔脚，差分探头往往是较大的夹环，实际中很难测试，从而导致许多工程师使用剪掉示波器供电插头地脚的方法进行测试。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校商洛-报价多少有光照的电池所产生的部分能量或所有的能量，都可能被"热斑"的电池所消耗。“瘤”的威力有多大？这颗瘤会对太阳能电池会造成很严重地破坏作用，会严重的破坏太阳电池组件或系统，所以需要对太阳电池组件进行热斑检测，使相对发热均匀的电池片进行组合或维护，以避免组件所产生的能量被热斑的组件所消耗，同时避免由于热斑可能给太阳能组件或系统的寿命带来的威胁，所以需要用到一款专业的工具来检测这颗"瘤"，然后将其消灭。