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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

一些产品也可以检测继电器的连接，但是不能检测隔离继电器。VXI的产品包括了这方面的功能，是因为VXI的主要用户是工和航天方面，这些测试的环境是非常差的，而且很少有空间可以进行自主检测。其他的产品，如PXI，PCB板的大小有限，就很难自检工具。在自检工具的设计研发阶段，这些工具占用了很大的空间，这就减少了模块的密度，同时增加了成本。由于成本和空间大小的限制，很多继电器的商会增加一种工具来解决这个问题，如继电器的操作次数的统计软件。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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来到健身房，教练首先让他握住一个小仪器，说是要测量体内脂肪含量。王先生使用的体脂仪类似一个秒表，使用时，只需用手握住，就能测出具体数值。对此，他有些疑惑：“这么一个东西，能准确测出来吗？”记者注意到，市面上出的体脂仪大部分利用的是人体阻抗原理测脂肪比例，这种方法的专业术语叫“BIA”，其原理是脂肪组织因水分含量低而不导电，肌肉等细胞组织因含水量高而导电性能好，由此根据人体的电阻抗推定脂肪和其他组织的比例。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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充电准备就绪测试：检查供电设备是否能检测到车辆准备就绪并启动充电。启动及充电阶段测试：在充电过程中，检查供电设备是否能通过PWM信号占空比告知其可供电能力。正常充电结束测试：检查供电设备在收到车辆停止充电指令时充电结束过程是否正常。充电连接控制时序测试本测试的目的是检查供电设备充电连接控制各种状态跳转和时间间隔是否满足要求。状态转换示意图如下图所示，充电时供电设备充电连接 4和A.5规定的要求。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室蚌埠-费用多少一般气体分析仪只能单一成份地逐个进行检测分析，不具备多重输入和信号功能，分析费时，操作烦琐，响应速度慢，效率低，难以实时地分析生产工况。现逐渐被全自动分析仪器替代。色谱分析法是通过一次进样利用色谱柱使烟气中的所有组分——氧气、氮气、 、二氧化碳分离通过检测器和记录器测定并记录整个分析过程，然后用面积归一化计算出各组分的含量。色谱法分离效能高、样品用量少、可进行多组分分析、分析精度高和标定周期长。