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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电路设计是传感器性能是否优越的关键因素，由于传感器输出端都是很微小的信号，如果因为噪声导致有用的信号被淹没，那就得不偿失了，所以加强传感器电路的抗干扰设计尤为重要。在这之前，我们必须了解传感器电路噪声的来源，以便找出更好的方法来降低噪声。总的来说，传感器电路噪声主要有一下七种：低频噪声低频噪声主要是由于内部的导电微粒不连续造成的。特别是碳膜电阻，其碳质材料内部存在许多微小颗粒，颗粒之间是不连续的，在电流流过时，会使电阻的导电率发生变化引起电流的变化，产生类似接触 的闪爆电弧。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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第十八条：食品在烹饪后至出前一般不超过2个小时，若超过2个小时存放的，应当在高于6℃或低于1℃的条件下存放。而在1℃至6℃的温度范围内细菌容易繁殖，盒饭温度低于6℃，细菌会加速繁殖。以往采用的老式温度计不能连续测温，只能获得几个节点上的数据。为了保证新学期学后的集体用餐安全，本市市场监督管理局，已采用testo电子温度 对盒饭的生产和运输过程进行“无线全程监控”。盒饭而有了testo温度 ，不仅能监控当天的食品安全，还能科学的、连续的动态数据。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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有效控制电子设备启动浪涌电流不仅有利于提高电子设备使用寿命，而且能降低对周围的电子设备干扰影响，量测和改善电子设备启动浪涌电流是电子设备研发和验证过程中不可或缺的环节。量测电子设备启动浪涌电流的电网条件通常是标称交流输入电压值的峰值。电子设备交流输入1-24V（有效值）,输入电压24V（rms.）的峰值电压为34V(peak)。也就是实验过程中需要一台能改变电压和相位的交流电源作为待测物（电子设备）的电网输入源。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室江苏-审厂 在无线电和射频系统中，许多场合要求使用幅度和相位完全可控的混频器/变频器，因此要求对混频器/变频器的一致性进行测量。混频器/变频器矢量测试方法，虽能同时测量幅度、相位、群延等信息，但对校准过程中的校准混频器提出了互易性要求。由于混频器/变频器组件常带有放大、滤波等环节，实现互易性非常困难，所以混频器/变频器矢量测试方法测量其一致性非常不便。在矢量网络分析仪中发的频偏测量方法，能很好地解决互易性困难且需要进行混频器/变频器一致性测试问题，其原理是将矢量网络分析仪源输出频率调节到不同于接收频率上进行测量。