仪器校准岳阳-CNAS检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

便携式热工仪表检定仪(以下简称“检定仪”)是我们研制发的一种新型的热工仪表检定装置。该产品采用大规模集成电路、数字显示技术，把标准电压(毫伏)发生器、调节、显示组成一体，具有操作简便、读数准确、重量轻、体积小等优点。改变了以往对二次热工仪表检定所采用的逐盘转动直流电位差计进行平衡读数的传统方法，提高了检定效率。另外，设有电势正负转换关，为电子电位差计等具有温度补偿的热工仪表的零位检定与修理了方便。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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但从目前大型机械极端的角度看，大工件可以从以下两个方面大致框定：工件一般由机成形或机件装配成形，其被测量内容不仅包括尺寸，还包括几何公差。测量精度和几何公差的测量要求是大工件的个特征，它在相当程度上制约了诸如经纬仪、全站仪等测量仪器以及一般光学（包括激光）测量方法的应用；其形状和体量是目前常规尺寸的坐标测量机所无法应对的。这里强调的是常规尺寸，不包括 的坐标测量系统。在这种情况下，测量就成为了大工件测量的第二个特征。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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利用物理性质的气体传感器：如热传导式、光干涉式、红外吸收式等。利用电化学性质的气体传感器：如定电位电解式、迦伐尼电池式、隔膜离子电极式、固定电解质式等。根据危害，我们将有有害气体分为可燃气体和有气体两大类。由于它们性质和危害不同，其检测手段也有所不同。可燃气体是石油化工等工业场合遇到 多的危险气体，它主要是烷烃等有机气体和某些无机气体：如 等。可燃气体发生必须具备一定的条件，那就是：一定浓度的可燃气体，一定量的氧气以及足够热量点燃它们的火源，这就是三要素，缺一不可，也就是说，缺少其中任何一个条件都不会引起火灾和。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器校准岳阳-CNAS检测公司CANFD的数据段更可靠的CRC校验和额外的控制位在传统的CAN2.0中，由于填充规则会对CRC产生干扰，在CANFD中升级了算法，将填充位加入多项式的运算，主要作为格式检查，考虑数据长度变化的区间很大，CRC也根据区间会生成两种校验算法，当帧长小于210位，使用CRC_17，当帧长小于1023位，使用CRC_21位算法。可靠的CRC校验另外在CANFD中利用了部分保留标志位，新增三种控制位，包括EDL（是否是CANFD帧）、BRS（是否可变速率）以及ESI（错误状态），丰富帧内的有用信息。