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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

现场动平衡测量仪兼备现场振动数据测量、振动分析和单双面动平衡等诸多功能，简捷易用，现场动平衡测量仪是工矿企业预知保养维修，尤其是风机、电动机等设备厂和振动技术服务机构 为理想之工具.现场动平衡测量仪操作简单，人机对话，菜单提示，测量数据可随时锁定保持，配机内蓄电池和市电双重供电，很方便地用于现场旋转机械的动平衡测试。现场动平衡测量仪也可与平衡机相配套，直接替代平衡机电箱，现场动平衡测量仪用于老平衡机的改造。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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所有DAC之间的共性就是技术规格的定义以及说明。这篇文章将会论述静态DAC技术规格。静态DAC技术规格包括对DAC在DC域中所具有的特性的描述。在DC域中时，DAC的数字与模拟定时现象不属于这一组技术规格。虽然这3个DAC拓扑互不相同，但它们的技术规格与电气描述非常类似。一个主要的静态DAC技术规格就是理想转换函数()。在对这个普通转换函数的图示中，可以轻松地体会和理解零代码、偏移、满量程以及增益的定义。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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根据与不同的工作状态有关的模式数量，耗电量会立即从几百纳安跃升到几百毫安。传统仪器可能会满足低端需求(如皮安表)或 需求(如电流探头)，但其一般不能涵盖整个电流范围。重新配置仪器设置，甚至测试设置不仅容易出错，而且在实践中并不可行。对大多数物联网应用来说，这么宽的动态范围，的方法是使用数字万用表(DMM)的自动量程功能。在理想情况下，能使用单一的配置设置，捕获很宽的电压和电流动态测量范围()。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量驻马店-CNAS认证机构总体来说，我们 近在这个领域上没有接触更多的需求。虽然许多客户希望设备尽可能的小，但是他们 关心的还是性能和价格，尺寸往往在优先级列表中比较低。我们看到这三个方面是大型关组中的一个问题，在大型关的作用下人们想要分组切换更大数量的线缆，举例：一个1*16的关一次切换250个线缆，在 终用户想要交叉连接数百个输入和数百个输出时使用的高密度通信矩阵，以及大电流关。