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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

双金属温度计是一种测量中低温度的现场检测仪表。该仪表是利用二种不同温度膨胀系数的金属，成导热传感器，充分利用了热胀冷缩的原理，当多层金属片的温度改变时，各层金属膨胀或收缩量不等，使得螺旋卷卷起或松，由于螺旋卷的一端固定而另一端和一可以自由转动的指针相连。当双金属片感受到温度变化时，指针即可在一圆形分度标尺上指示出温度来，这种双金属温度计的测温范围是-40~550℃，允许误差：±1.6℃。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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再来说说汽车充电系统的工作过程。当我们打点火关，蓄电池向汽车各用电设备供电，电控系统自检，为发动机启动好准备；同时蓄电池也会向发电机转子励磁电流，为发电机发电好准备；当我们把点火关拧到启动档时，起动机接通，蓄电池给起动机启动电流，带动发动机转动，并使发动机点火启动。当发动机正常工作后，发电机也随发动机高速运转，定子绕组切割转子绕组的磁力线，产生三相交流电流，经过硅整流后变成直流电向外输出，给汽车的用电设备使用，多余的电能用来给蓄电池充电。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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LED研发一LED光源半导体芯片发热利用热像仪，工程师可以根据得到的光源半导体芯片发热红外热图，分析出其芯片在工作时的温度，以及温度的分布情况，在此基础，达到提高LED产品寿命的目的。二LED模块驱动电路在LED产品研发中，需要工程师进行一部分驱动电路设计，整流器电路模块。利用红外热像仪，工程师可以迅速而便捷地发现电路上温度异常之处，便于完善电路设计。三光衰试验LED产品的光衰就是光在传输中的信号减弱，而现阶段 的LED大厂们出的LED产品光衰程度都不相同，大功率LED同样存在光衰，这和温度有着直接的关系，主要是由晶片、荧光粉和封装技术决定的。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室济南-认证中心据麦姆斯咨询此前报道，TI大约在一年前发布了其雷达芯片，据称能够“小于5cm的分辨率，探测范围达数百米，速度可达3km/h”。RFCMOS技术的毫米波雷达。集成数字信号器（DSP）扮演重要角色Yole分析师预言，TI将迅速改变雷达技术领域的竞争现状。Yole射频器件和技术部门技术和市场分析师CédricMalaquin表示，其核心在于TI雷达解决方案的集成架构。TI的毫米波传感器件在一颗单芯片上集成了76~81GHz毫米波雷达、MCU（微控制器）以及数字信号器（DSP）。