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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

智能手环、手机、平板等设备同样将待机时间作为一项重要指标，小米手环2就提出充电一次满足2天持续使用的口号，而其中内置的是一个仅有7mAh的锂聚合物电池。但在电池供电条件下的待机测试中若使用真实电池作为电源，一方面测试结果受到电池产品质量波动的影响，另一方面也增加了测试的工作量。IT64系列可编程直流电源在电池测试方 备强大的功能，包括电池充电、电池放电、电池模拟三种模式。用户可用IT64系列可编程直流电源替代电池，为智能设备供电，通过电池模拟功能来模拟电池的输出特性，测试待测物的待机能力，或者测试充电器的充电能力。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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为了保证CAN总线物理层的一 及主流车企标准对CAN节点相关的参数进行测量，本文主要对CANDT的测试项——总线输入电压限值测试进行解读。主要参考来源总线输入电压限值测试项的评估包括隐性输入电压限值和显性输入电压限值测试，其参考ISO11898-2标准的原理如下：CAN节点隐性输入电压限值一个CAN节点集成电路协议设置为总线空闲时，可检测到的隐性位输入限值应通过图1的电路测量。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在这方面，罗德与施瓦茨充分发挥业界的技术实力，为RSQPS201设计了两面固态矩阵面板，内含数千个收发天线，构成一套高精度的双面测量系统。测量过程中，每个天线仅工作一瞬间，仪器在几十毫秒内完成全部的信号探测工作。由于RSQPS201的天线数量和规模远超业界同类产品，可以获得更高信噪比的信号，利于后续程序计算识别可疑物。图2毫米波收发矩阵示意图在信号和可疑物识别方面，RSQPS201使用业界的数据加速器，将海量的信号数据加速，使得仪器对信号具有极高的运算速度。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校正内蒙古-认证中心线缆另一端的配套解串器可扩展返回至并行接口的信号，该接口连接显示器或主机。德州仪器(TI)的FPD-linkIII串行串器产品系列各种应对高速系统设计挑战的 特性。通过单个差分对传输的单个串行数据流可避免数据延迟差问题。这些器件可对串行数据进行编码，以包含无需参考时钟就能恢复的嵌入式时钟，从而无需特别训练序列便可快速初始化连接。经过精心随机化和解扰的数据不仅可限度地减少电磁干扰(EMI)，而且还具有DC平衡性，有助于信号在1多米长的双绞线或单同轴线上传输和恢复。