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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

的新型传感器之一：单芯片雷达片上系统(system-on-chip，SoC)，其在汽车中的广泛采用大幅提高了销量，从而促进了价格的下降。这些精密的IC器件对汽车商而言至关重要，对其它应用也同样有很大的吸引力。在汽车应用领域，尽管IC器件将继续占据主导地位，设计人员也在探索一系列新用途可以提高安全性和便利性。谁能想到单芯片雷达呢?虽然现在多个商已经设计出多种形式的单芯片雷达。大多数 已经发出24GHz、76-81GHz、94GHz频段的芯片。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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可以利用 触发来进一步隔离信号。这款模块化示波器通过业界的波形更新速率（高达每秒1,000,000个波形）消除了这些限制，从而可捕获更多的信号细节。这些示波器允许用户使用区域触发（zonetriggering），根据屏幕上显示的信号信息来创建触发。使用区域触发时，如果您能够在显示屏上看到该事件，那么只需在屏幕上用鼠标或手指（在触摸屏上）绘制一个方框，然后选择所需的触发操作，就可以在遇到该事件时轻松触发。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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放大器进行通道多路复用时工作异常，原因究竟是什么呢？有些人（尤其是工程师）声称，质疑争辩是否超速的一种方法就是要求雷达装置的校验证书。他们认为，如果校验证书过期，司机就不该被罚款。无论这是否真的适合所有人（仪器可能近期已经校准过），避超速罚单 的方法仍是不要超过限速。但是如果你没有意识到自己速度太快该怎么呢？这种理由通常都不管用。同样的事情也发生在放大器上。在一些应用中，工程师可能忘记了放大器输入与具有超快速瞬变的设备相连。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正达州-第三方公司借助FieldFox分析仪所应用的InstAlign技术，您可以使用ERTA实施的增益或损耗测量。主要特性与技术指标：长有损电缆的标量测量。使用频偏功能的转换器标量测量。测量：增益/损耗（B/R）、输入功率（R）、输出功率（B）。需要两台FieldFox分析仪，每台都配有ERTA选件和附件。ERTA系统频率受每台分析仪的频率范围的限制（两台N9918A的频率范围为26.5GHz）。