测试设备校验益阳-验厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

传感器口径的选择要点选择传感器的口径与连接的工艺管道口径相同其优点是方便（不需异径管）；其前提是管内流体的流速须在.3m/s—1m/s范围内；其适用状态为工程前期使用且管内流体流速处于较低状态。选择传感器的口径与连接的工艺管道口径不相同其适用状态：流速偏低、流量稳定；降低性价比。衬里材料的选择要点根据本企业被测介质的腐蚀性、磨损性及温度，由者选定，可参阅各厂家的“衬里材料性能及适用范围表”。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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海量应用磁传感器无所不在、尺寸小巧且价格合理，可以轻松地和其他电路一同集成到芯片上，磁传感器被人们广泛用于各种应用。(如需了解更多关于磁传感器的信息，敬请阅读白皮书)。磁传感技术在机器人和工厂自动化中的优势尤其明显。由于磁传感器在零件位置和速度检测方 有更高的可靠性和精密度，它对运动控制而言至关重要。这一优势也让机器手臂和其它部件能够平稳而准确地，从而确保高质量和高安全性的过程。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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当其引用标准出现标准变更尤其是检验方法、环境设施有实际变化的情况下，其产品检验的实际检验能力有可能出现变化。这种变化，可能会导致实验室不能按现行有效标准正常展检验工作。我们把这种变化称之为“隐性的”超范围检验。由于标准变更后需要重新进行能力确认，个别实验室怕麻烦，往往会等到监督评审或复评审时才进行确认，从而导致超能力范围检验。实验室应关注和避免这种情况的发生，在能力未确认前，不得使用新标准展检验。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验益阳-验厂 其中，n为大于1的自然数，an代表第n个补偿周期获取的补偿参数，mn-1代表第n-1个补偿周期存储的补偿余数，nn代表RTC模块的补偿单位，b代表RTC模块的补偿单位的整数倍，mn代表第n个补偿周期的补偿余数。在第n个补偿周期中，所述根据所述补偿校准值和所述补偿余数对RTC模块的时钟频率进行校准，具体包括：按照所述第n个补偿周期的补偿校准值对所述RTC模块的时钟频率进行校准，并存储所述第n个补偿周期的补偿余数。