测试设备校正盐城-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

”好防灾应急工作，是落实以人为本的科学发展观的重要体现，是维护人民群众根本利益的重要举措，也是保持社会和谐稳定的重要环节。随着 和社会对防灾应急工作的重视，各地都已制订了防灾 ，到“组织规范，有效防范，积极应对”，尽能力保障人民生命财产安全。近年来，我国应急产业快速兴起并不断发展，在应对突发性事件中发挥着重要作用。应急产业是为 预防与应急准备、监测与预、处置与救援 产品和服务的产业。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在这种情况下，因为可见光受到影响，我们人眼看不到整个环境中的状况，需要用红外成像技术，来帮助我们消防战士们掌握火场内的情况。火灾预防/探测，防患于未燃持续监测仓库探测废料仓中的火灾风险CATS6实现消防用红外热像仪从高科技产品变成消防救援必备工具早些时候，由于红外热像仪的费用比较昂贵，成本较高，国内与国外的消防员都不敢大胆使用。但随着红外热像技术的普及和发展，红外热像仪在欧美，已经变成每辆消防车的必备一起。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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但这并不意味着传感器像素点以每8-12ms进行读取。一般的经验是：跃阶输入信号的一阶系统达到稳定状态所需的时间是时间常数的5倍。时间常数与思维实验以下的思维实验有助于方便理解微测辐射热计的时间常数概念和其影响高速测温的方式。想有两桶水：一桶是装满已搅拌均匀的?C冰水，另一桶是快速沸腾的1?C沸水。让微测辐射热计红外热像仪先对准冰水测温，然后马上对准沸水(1?C的跃阶输入)，记录这一过程的测温结果。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正盐城-审厂直通方式选取：直通方式包括：零长度直通、定义直通、未知直通、定义直通（ECal）、未知直通（ECal）。前三种针对机械校准件，后两者是电子校准件。定义直通，选用已知特性机械转接器，或选用电子校准件内部直通状态。未知直通，选用未知特性转接器，或选用电子校准件内部直通状态作为未知特性状态使用。用户可以根据实际情况选取合适的直通方式,未知直通使用更加灵活，是非插入校准缺省直通方式。总结电子与机械混合校准模式，可平衡校准速度，连接复杂度与校准精度等多种因素。