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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

一般来说，直流电源具有CV/CC两种工作模式，分别对应内部两个环路(CV控制环和CC控制环)。当今市场上的大多数电源器均采用电压优先模式设计，不能电流环控制优先模式；事实上这种情况非常普遍，大多数工程师甚至从来没有意识到还有优先模式存在，他们只是期望自己的电源能够正常电压电流和功率输出。但随着电子测试需求的变革，这种方式的局限性也体现出来，CV控制环优先的情况下，虽然一定程度上可以加快电压的上升速度，但不能够适用于对电流过冲测试要求严苛的场合。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在这里，我们主要讨论模式模式四充电桩内的剩余电 5中要求，交流供电设备的剩余电流保护器宜采用A型 的相关要求。如所示为充电模式3控制导引电路原理图，在供电设备内部了剩余电流保护器。图1充电模式3控制导引电路原理图什么是A型或者B型剩余电流保护器？我国的剩余电流保护装 （IEC/TR60755:2008,MOD）《剩余电流动作保护器的一般要求》从产品的基本结构、剩余电流类型、脱扣方式等方面作了划分。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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它还采用智能DigjtalDNA技术，在66MHz下工作速度为59Dhrystone2.1MIPS。此外，MCF5282微器还具有新型设备：快速以太网媒体存取控制(MAC)，支持100MbpsMII，10MlapsMII和10Mbps7线实际接口，它使以太网连接从板级扩展到芯片级，这是MCF5282区别于其他类型器的特色之一。QSPI模块，带有序列传输性能的串行外围接口。3个通用异步串行接口模块UART。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校焦作-电话因为在大功率的应用中，需要配置散热装置，所以这将增大解决方案的尺寸。充电泵通过采用“快速”电容器(作为存储组件)来提高/降低直流电压或改变其极性，同时采用内部关来连接电容器，使其能够进行所需的DC/DC转换。一般而言，充电泵要比感应式转换关的成本低，而且不会产生电磁干扰。充电泵的输出纹波通常比感应式转换关大，充电泵在输出功率方面也受到限制。同时，其瞬态响应受到快速电容器充电速率的限制。另外，在输入电压和输出电压相当的应用中，充电泵的效率通常相当低。