测试仪表校正成都-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电子负载，顾名思义，是用电子器件实现的“负载”功能。具体地说，电子负载是通过控制内部功率器件MOSFET或晶体管的导通量，使功率管耗散功率，消耗电能的设备。电子负载类似于可以拉载电流的输入设备，如同一个可编程的功率电阻。直流电子负载应用领域直流电子负载通过模拟实物负载和负载波形，可以实现对电源器规格特性的测试，也可以作为ATE或ATS系统的组成单元，在线对充电器、蓄电池等的寿命特性及功率电子元器件的参数特性进行测试。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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物联网是什么？广义上，物联网是指在智能手机和平板电脑之外连接到一个数据网络的任何终端。物联网也不需要独特的服务费。，智能电表可以通过Wi-Fi或用户的智能手机连接到互联网。这里的服务费要么与回传Wi-Fi接入点的宽带连接有关，要么与智能手机用户的数据套餐有关。虽然Ovum没有量化物联网市场的总体规模，但我们可以肯定，很多终端通过没有获得授权频谱的Wi-F蓝牙或ZigBee网络连接，而不是通过运营商的无线网络连接。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在排水负荷高时，提高水泵电机的输出功率，实现满载输出;在晚上等排水负荷小的时候，通过变频器降低水泵电机的转速，减少水泵的输出功率，从而达到节能的目的。变频电机、无刷电机虽然通过可对电机的控制实现了更好的节能性，但也引入了一个新的设备——电机驱动器(变频器)。由于电机驱动器也是存在效率损耗的，所以我们在评估电机性能时也不能只关注电机，要把驱动器和电机视作一个综合系统来评估了。电机与驱动器同步测试的重要性传统电机测试中，电机的效率并不是衡定不变的，而是随着转速(负载)的不同而变化。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正成都-审厂 具体地说，对于每个被测的谐波分量，中心频率将设置为搜索基频的整数倍，并且执行一次零频宽扫描，幅度由测量数据的功率平均计算得到。测量完数目的谐波和幅度之后，总谐波失真测量结果将自动计算并显示在数据报表窗口。为使用谐波失真测量功能自动测量得到的显示界面，数据报表窗口中顺序列出了基频与谐波分量的频率和幅度，并给出了总谐波失真。根据测量报表，设系统中只有这两个谐波分量的话，总谐波失真为3.67%。该结果可由公式手动计算验证，报表中二次谐波与基频的幅度差为-29.1dB，三次谐波与基频的幅度差为-4.4dB，则总谐波失真为：谐波失真测量功能一键自动测量由此可见，中谐波失真自动测量的结果与中手动测量的结果是相互吻合的。