仪器外校赣州-检验报告

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

但在CAN总线的工业自动化应用中，由于设备的互通互联的需求越来越多，所以需要一个放的、标准化的高层协议：这个协议支持各种CAN厂商设备的互用性、互换性，能够实现在CAN网络中标准的、统一的系统通讯模式，设备功能描述方式，执行网络管理功能。其中包括：l应用层(Applicationlayer)：为网络中每一个有效设备都能够一组有用的服务与协议。l通讯描述(Communicationprofile)：配置设备、通讯数据的含义，定义数据通讯方式。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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具体的器件有金属应变片、压力传感器等，在动力设备、工程机械、各类工作母机和工业自动化系统中，成为不可缺少的核心部件。力传感器被广泛地用在部件和系统级测试、发动机和动力总成测试、车辆和试验厂测试、总装和 终测试以及各种赛车应用中。它们在确定新车和部件设计的完整性和化方面都能发挥重要作用，同时还有助于保证效率、安全性和正确的功能。力传感器具有“疲劳寿命”额定值。通用型力传感器设计用于静态载荷应用或者低循环频率载荷应用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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环境试验一般只对小部分产品进行，常见的环境试验内容和方法如下：温度试验用以检查温度环境对仪器仪表的影响，确定仪器仪表在高温和低温条件下工作和储存的适应性，它包括高温和低温负荷试验、高温和低温储存试验。高温试验用以检查高温环境对仪器仪表的影响，确定仪器仪表在高温条件下工作和储存的适应性。它包括高温负荷试验和高温储存试验。低温试验用以检查低温环境对仪器仪表的影响，确定仪器仪表在高温条件下工作和储存的适应性。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校赣州-检验报告从上述原理可知，谐波源负载是否会对同一个电网上的电子设备造成干扰，主要取决于电子设备的电源线输入端电压谐波畸变的大小，以及电子设备供电电源的抗干扰能力。谐波源负载产生同样的谐波电流的情况下，与变压器之间的距离越远，则对应的电网阻抗越大，引起的电压畸变就越大，越容易对同一个电网上的电子设备形成干扰。而不同的电子设备抗畸变电压的能力也有优劣之分，在同一供电网络，某台电子设备会受干扰，并不意味着所有的电子设备在这个位置都会受干扰。